第3章+薄膜的物理气相沉积II.ppt

第一节 气体放电现象与等离子体 一、气体放电现象 二、气体放电过程 三、辉光放电现象及等离子体鞘层 四、非自持放电与自持放电 一、气体放电现象 (gas discharge) 原子激发能（excitation energy）: 原子中电子从基态能级激发到激发态能级所需能量。 原子电离能（ionization energy）：原子在外界因素作用下失去一个或几个电子而形成自由电子和正离子所需要的能量。碰撞电离、光电离（中性复合、激发态恢复导致分级电离）、热电离。 金属（阴极）表面电离能（逸出功work function，work of emission ）: 金属表面释放电子所需能量。正离子碰撞阴极（一个以上电子）、光电效应、强场（103kV/cm）发射（field emission）、热电子发射。 气体放电中的碰撞过程 等离子体中高速运动的电子与其他粒子的碰撞是维持气体放电的主要微观机制。 1、弹性碰撞 2、非弹性碰撞 1、弹性碰撞 参加碰撞的粒子的总动能E和总动量P保持不变，并且不存在粒子内能的变化，即没有粒子的激发、电离或复合过程发生。 在两个粒子的弹性碰撞过程中，