第四章：纳米测量与表征.pptVIP

4.1 纳米测量技术 人的眼睛的分辨本领0.1毫米。 显微镜的分辨本领公式（阿贝公式）为：d=0.61?/(N?sin?)，N?sin?是透镜的孔径数。其最大值为1.3。光镜采用的可见光的波长为400~760nm。 光学显微镜，可以看到象细菌、细胞那样小的物体，极限分辨本领是0.2微米。在光学显微镜下无法看清小于0.2μm的细微结构，这些结构称为亚显微结构（submicroscopic structures）或超微结构（ultramicroscopic structures；ultrastructures）。 要想看清这些更微小的结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。 1932—1933年间，德国的Ruska和Knoll 等在柏林制成了第一台电子显微镜。放大率只有l2倍。表明电子波可以用于显微镜。 1939年德国的西门子公司产生了分辨本领优于100 ?的电子显微镜。 我国从1958年开始制造电子显微镜。 现代高性能的透射电子显微镜点分辨本领优于3?，晶格分辨本领达到1—2?，自动化程度相当高。 聚光透镜：采用双聚光镜系统，从电子枪射来的电子束在磁场的作用下，会聚于一点，其直径小于几微米。调解线圈电流，可调节电子束斑大小。（铜线圈绕软铁柱，中间打一小孔） 强激磁透镜（第一聚光镜） 束斑缩小率10-50倍 弱激磁透镜（第二聚光镜） 放大率2倍 3 成像系统 物镜—是形成第一副电子图像或衍射花样的透镜，决定成像分辨率的极限。 一般为强激磁短焦距透镜(f=1-3mm)，放大倍数为100-300倍，分辨率可达0.1nm，会聚能力很强，可通过调节电流调节会聚能力。 4 放大系统 由中间镜（弱激磁长焦距透镜，0-20倍）和投影镜（强激磁短焦距透镜）组成。 1．制样要求 [1] 负载的铜网上，铜网直径2-3 mm。 [2]样品必须薄，电子束可以穿透，在100 kV 时, 厚度不超过100 nm，一般在50nm。粉体、涂膜、切片、染色、OsO4 [3] 样品必须清洁，防尘，无挥发性物质。 [4]有足够的强度和稳定性，耐高温、辐射，不易挥发、升华、分解。(注意辐射损伤） 2．基本步骤 [1] 将样品用超声波振荡分散，除去软团聚。 [2] 用覆盖有碳膜或其它高分子膜的铜网悬浮液中，捞取或用滴管滴在碳膜上，用滤纸吸干或晾干后，放入样品台。 [3] 在有代表性且尺寸分布窄的地方，分散好的地方照像。 3．确定尺寸方法(3） [1] 任意地测量约600颗粒的交叉长度，然后将交叉长度的算术平均值乘上一统计因子(1.56)来获得平均粒径。 ? [2] 测量100个颗粒中每个颗粒的最大交叉长度，颗粒粒径为这些交叉长度的算术平均值。 [3]求出颗粒的粒径，画出粒径与不同粒径下的微粒分布图，将分布曲线中心的峰值对应的颗粒尺寸作为平均粒径。 4．TEM法测纳米样品的优缺点 优点： 分辨率高， 1-3? ， 放大倍数可达几百万倍， 亮度高， 可靠性和直观性强，是颗粒度测定的绝对方法。 缺点： 缺乏统计性。立体感差，制样难，不能观察活体，可观察范围小，从几个微米到几个埃。 [1]取样时样品少，可能不具代表性。 [2]铜网捞取的样品少。 [3] 观察范围小，铜网几平方毫米就是1012平方纳米。 [4]粒子团聚严重时，观察不到粒子真实尺寸。 扫描电子显微镜SEM：Scanning electron microscope 1935年：德国的Knoll提出了扫描电镜(SEM)的概念; 1942：Zworykin. Hillier, 制成了第一台实验室用的扫描电镜。 1965年第一台商品扫描电镜问世。 二次电子——从距样品表面l00?左右深度范围内激发出来的低能电子。50eV，与原子序数没有明显关系，对表面几何形状敏感。 secondary electrons 背散射电子——从距样品表面0.1—1μm深度范围内散射回来的入射电子，其能量近似入射电子能量。 backscattered electron 一、基本结构 1．各大部件作用 [1]电子枪----相似于TEM 场发射枪的光源体积小，能量发散度小，亮度高，使二次电子图象的分辨率由5~6nm提高到1 nm，可从低倍(×25)到高倍（×650,000）连续观察；分析的范围较大，可观察到显微组织的分布趋势，与TEM相比更有代表性。 场发射电子枪在低电压下仍有较高的分辨率，这点在生物医学上十分有用，因工作电压低使生物试样避免了辐射损伤。 [2]透镜作用 不作成像透镜用，将电子枪的束斑逐级聚焦缩小，从50微米缩小成几个纳米(越小分辨率越高)。一般6 nm, 场发射 3 nm。 [4]二次电子与探测器： 入射电子与样品之间相互作用激发出二次电子。二次电