扫描隧道显微镜(STM)反馈回路设计和调试.pdf

第30卷 第9期　 　　　西　安　交　通　大　学　学　报 V o l. 30　№9 　1996年9月 JOU RNAL O F X I’AN J IAO TON G U N IV ER S IT Y 　　Sep. 1996 扫描隧道显微镜(STM ) 反馈回路的 设计和调试 李新肖　宋建平　唐天同 (西安交通大学, 710049, 西安) 摘 要 　　建立了扫描隧道显微镜在恒流模式下的隧道电流回路的等效模型. 用根轨迹法 分析了回路的自激频率和使回路稳定的最佳电路参数设置原则. 给出了该模型下回 路的电路实现及电路调整过程中的关键问题. 关键词: 扫描隧道显微镜　反馈回路　根轨迹　噪声 中国图书资料分类法分类号: YN 16 0　引　言 扫描隧道显微镜是进行材料表面分析的仪器, 广泛应用于物理学、化学、生物学和材料学 等领域的微观研究. 其纵、横向分辨率分别达001 nm 和01 nm , 是目前综合分辨率最高的电 镜. STM 中的隧道电流反馈回路质量的优劣是衡量整机水平的关键因素之一. 如图1所示, STM 的核心部件是一个三维扫描器, 它 由互相垂直的3个电压陶瓷臂 、 、 组成. 和 P x P y P z P x P y 在2路扫描电压的驱使下带动探针在样品表面作光栅式 扫描, 针尖和样品间产生的隧道电流经反馈电路驱动 P z 臂, 用来控制针尖的高度. 在保持隧道电流恒定的情况 下, P z 臂上驱动电压的变化反映了样品表面的形貌起 伏, 经采集后可显示出样品对应区域的图象. 要使 P z 臂的驱动电压能及时准确地反映样品表面 对应区域的形貌变化, 对隧道电流反馈回路要求: ( 1) 回 图1　STM 原理图 路稳定, 没有自激发生; (2) 扫描过程中维持隧道结间隙 基本不变, 即跟踪误差趋近于零. 　　收到日期: 　李新肖: 男, 1970年4月生, 电子与信息工程学院信息与控制系, 助教. 84 西 安 交 通 大 学 学 报 第30卷 上述2个条件相互制约, 使实际工作的 STM 回路往往要调整到接近临界稳定的状态. 以前的 很多文献偏重于讨论回路受规则激励时的瞬态响应特性, 并据此优化回路的设计[ 1～ 5 ] , 对于回 路的稳定性调节没有深入研究. 使回路趋近于临界稳定且在调节过程中不引起自激是实验过 程中比较难以把握的步骤, 在没有对回路建立合适的数学模型的情况下, 回路参数的选择往往 根据经验或实验确定, 具有一定的盲目性. 本文提出将隧道结进行微分等效, 采用更接近实际 的回路传递函数分析回路的稳定性及其影响因素, 得到了在不同条件下 STM 回路参数的调 整方法. 1　回路模型的建立 图2是隧道电流反馈回路的框图, 参考输入用来设定回路中隧道电