Zemax中的像质评价方法课件.pptVIP

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Zemax中的像质评价方法课件

Zemax中的像质评价方法 像差(像质评价) 球差δL’ 色差 △l’FC ,△L’FC 细光束子午场曲x’t 子午球差δL’T 子午彗差 K’T 细光束弧矢场曲 x’s 弧矢球差δL’S 弧矢彗差 K’S 像散 x’ts 畸变δy’z 垂轴色差 △y’FC 球差 场曲 彗差 像散 畸变 色差 垂轴色差 Fans Spot Diagram MTF PSF Wavefront Miscellaneous Fans(光扇图) 由任一物点发出的不同孔径高的光线组分别在子午面内和弧矢面内,形成子午扇形光线与弧矢扇形光线组,由这些扇形光线组描述跟像差有关的像质指标,可统称为Fans. 共有Ray Aberration、Optical path和Pupil Aberration三种. Ray Aberration 几何像差的垂轴表示法曲线 只考虑由一个物点发出的子午面或弧矢面内不同孔径光线,在像面上交点离开主光线交点的变化情况,相当于弥散大小;不去考虑到底是沿轴分量的像差,还是垂轴分量的像差,让我们产生综合的印象. 像面(XOY平面)上X分量像差(X aberration)和Y分量像差(Y aberration)随光线孔径高的变化曲线. X-aberration用EX表示,Y-aberration用EY表示,光线孔径高用PX、PY表示. Optical path 显示的光瞳归一化坐标(PX,PY)为横轴的光程差曲线,相当于一维波像差曲线; 纵轴为光程差,以主光线所走过的光程为基准. Pupil Aberration 反映光瞳像差 表示实际主光线与光瞳面交点,离开高斯主光线与光瞳面交点的距离,一般用占光瞳半径的百分数表示. Spot Diagram(点列图) 反映任一物点发出充满入瞳的光锥,在像面上的交点弥散情况; 通常以主光线与像面交点为原点,进行量化计算点列图的弥散情况,Zemax在此基础上,还给出以虚拟的“质心”、“平均”为原点的量化点列图. Spot Diagram(点列图) 表现形式有五种,即标准点列图(standard)、离焦点列图(Through Focus)、反映视场象高的点列图(Full Field Spot Diagrams)、随视场与波长变化的点列图阵列(Matrix Spot Diagrams)、随视场与多重结构变化的点列图阵列(Configuration Matrix Spot Diagram); 常用的是标准点列图 Spot Diagram(点列图) 计算点列图时入瞳上光线的选取有几种,即有极径、极角划分的极坐标形式,在Zemax中称为hexapolar(六极向);有直角坐标网格划分的方形网格式(Square)形式;Zemax中还提供了基于伪随机方法的颤抖式(dithered)光瞳划分方法. MTF(调制传递函数) 既与光学系统的像差有关,又与光学系统的衍射效果有关,是光学传递函数(OTF)的模,曲线横轴表示像面上的空间频率,单位为1/mm,即每毫米多少对线,纵轴表示对这些黑白细实线物分辨的调制度; 物理含义:应用傅立叶变换原理与光学系统相干成像理论,计算出镜头对逐渐变细的黑白线对分辨的调制度. MTF(调制传递函数) 据计算模型的不同,可分为三类: 1) FFT MTF,基于快速傅立叶变换,先计算PSF(点扩散函数),再由PSF→MTF; 2) Huygens MTF,基于惠更斯波面包络原理,先计算出瞳面上的光瞳函数,然后把出瞳面细分,看成次级光源,再向像面传递;因此计算惠更斯传函时,要将出瞳面细分网格、也将像面细分网格采样; 3) Geometric MTF,基于几何点列图,转化成子午面或弧矢面上的线扩散函数,再经傅立叶变换,得到调制传递函数. 由于计算模型不同,计算结果会出现较小差别,但变化趋势及量值不会差别很大,要注意区别: 1)从计算速度上看,FFT MTF最快,Huygens MTF与Geometric MTF速度较慢,但在初始结构像质太差(如波差PV6λ)时,FFT MTF计算会显示出错,这是正常现象,此时几何传函仍可进行正常计算,只是传函值太低; 2)从网格采样来看,FFT MTF与Geometric MTF只需对像面(或物面)空间坐标进行2n×2n网格采样,但Huygens MTF因计算模型差别,还要增加对出瞳面网格采样,这是导致Huygens MTF计算速度变慢的主要原因; 3)FFT MTF与Huygens MTF都能计算出Surface MTF(即3D-MTF),但Geometric MTF一般只计算子午与弧矢面上MTF,不提供Surface MTF. PSF(点扩散函数) PSF——Point Spread Func

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