焊线机超声波发生器数字化频率跟踪系统设计.pdfVIP

锎 DOI10．3969／j．issn．1009-9492．2014．10．001 焊线机超声波发生器数字化频率跟踪系统设计木 柯 昌锵 (广东工业大学机电工程学院，广东广州I 510006) 摘要：焊线机超声引线键合过程中，由于温度、压力、环境等因素的变化会导致超声换能器的谐振频率发生漂移。在分析超声 换能器电特性的基础上，阐述了阻抗相位反馈调谐的原理以及基于FPGA的数字化频率跟踪系统的设计，与传统的方法相比， 系统跟踪响应速度快 ，跟踪实时性好 ，而且跟踪频率范围宽，具有较强的实用性。 关键词：超声波发生器；FPGA；频率跟踪；数字鉴相器 中图分类号：TP751 文献标识码：A 文章编号：1009—9492(2014)lO一0001—05 DesignofW ireW eldingMachineUltrasonicGeneratorDigital FrequencyTrackingSystem KEChang-qiang (CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China) Abstract：Intheprocessofwireweldingmachineultrasonicwirebonding，theresonancefrequencyoftheultrasonictransducerisdrifted duetofactorssuchastemperature，pressure，environmentchange．Theprincipleofimpedancephasefeedbacktuningwasexpounded basedontheanalysisofelectricalcharacteristicsofultrasonictransducer．andthedigitalfrequencytrackingsystemwasdesignedbased onFPGA．Comparedwiththetraditionalmethod，thistrackingsystem hassomeadvantagessuchastrackingsystem responsespeed，good real—timetracking，widetrackfrequencyrangeandstrongpracticability． Keywords：ultrasonicgenerator；FPGA；frequencytracking；diotalphasedetector 0引言 工作频率必须能跟随换能器的谐振频率。传统的 焊线机超声引线键合技术是指利用热、力、 模拟锁相环对电路集成化和数字化形成了制约 ， 超声能量的耦合作用 ，通过超声振动和劈刀压 因此设计数字化 自动跟踪谐振频率系统，对超声 力，将半导体芯片与焊盘、基板或电子封装外壳 波换能器高效、稳定的运行具有重要的现实意义。 引脚用金属丝相连接的工艺技术 。工作时超声波 本文首先分析焊线机超声换能器的电特性 ， 发生器发出的电功率信号驱动压电陶瓷 ，压电陶 为阻抗相位反馈调谐提供理论依据；然后基于FP— 瓷将电功率信号转换成机械振动 ，振动经变幅杆 GA设计数字化频率跟踪系统 ，与传统方法相比， 和劈刀传输，放大以后作用在键合界面上-z。 本系统的跟踪响应速度快 ，跟踪实时性好，而且 焊线机工作中超声换能器随着温度 、压力 、 跟踪频率范围宽。 环境等因素的