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2017-05-26 发布于河南
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全柔性机构与MEMS

91 Vol. 9, No. 1 2 0 0 1 2 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Fe . , 2001 1004-924 ( 2001) 01-0001-05 X MEMS 于靖军, 宗光华, 毕树生 ( 北京航空航天大学机器人研究所, 北京　100083) : , M EMS MEMS , , : 柔性机构; 全柔性机构; 柔性铰链; 微型机电系统 :ATP23:A tem) , MEM S 1　引　　言 : ( 1) ; ( 2) , ; ( 3) ( 1) , MEM S, / [ 1] M idha ( 2) ( 3) , , MEM S , , , MEM S , (flexi le link) MEM S , : ( lumped compliance compliant mechanism [ 2] LCCM) , 2　柔性MEMS ( distri uted compliance compliant mecha- , nism DCCM) , , , , ( ) , , : ( 1) , ; ( 2) , ; , , ( 3) ; (4) , , , , MEM S , , 90% ( MEMS microelectromechanical sys- : 2000-10-20; : 2000-11-01 : ( ; 863 ( 863-512-98-04-26) 2 9 , , MEM S ( MEM S ) , 3. 2MEMS , [ 3] MEM S , MEM S , , , MEM S LIGA( Lithog- raphy , Galvanoforming, A formung) , , , , , MEM S Sandia AMT I4 , , MEMS , LIGA , Karlsruhe 3. 3 , ( 1)