CMNCT叠层薄膜论文界面层对CMNCT叠层薄膜结构和介电性能的影响.docVIP

CMN/CT叠层薄膜论文：界面层对CMN/CT叠层薄膜结构和介电性能的影响 【中文摘要】薄膜科学的发展是在表面、界面物理基础上建立起来的,表面和界面的力学、热学和电学特性是很多薄膜器件的工作基础,对薄膜的结构和性能产生重要影响,所以复合薄膜材料的性能并不是其组分材料的简单加和,而是产生了“1+12”的协同效应。因此只有清楚地把握薄膜的表面和界面结构,深入地研究薄膜的结构和性能的关系,才能有效地进行多层结构功能薄膜材料的设计,制备出结构稳定、性能良好的薄膜材料。本文采用Pechini方法合成了Ca(Mg1/3Nb2/3)O3(CMN)和CaTiO3(CT)前驱体溶液,利用液相旋涂工艺制备出Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3 (CMN/CT)叠层介质薄膜,系统研究了电极界面层和异质界面层对薄膜结构、形貌与介电性能的影响及其规律。结果表明,采用叠层方式制备的CMN/CT叠层薄膜中CMN、CT两相均能独立存在,薄膜具有单一钙钛矿结构,薄膜厚度均匀,表面致密、平整,不同成分的电极界面层和不同个数的异质界面层对薄膜的相结构影响不大,但对薄膜的微观形貌和介电性能产生明显影响。在层数、异质组分及异质界面数相同时,以CMN为首层和最后一层的样品NI-4-2的表面形貌和介电性能均好于以CT为首... 【英文摘要】It is well known that the development of thin film science has been based on the surface and interface physics. The mechanical, thermal and electrical properties of surface and interface have been the foundation of many thin-film devices, possessing vital influence on the structures and properties of thin film, herein the properties of composite thin films rather have?+12攕ynergistic effect than the simple accumulation from its different components. Hence only have a good command of surface and interface ... 【关键词】CMN/CT叠层薄膜 界面层 显微结构 介电性能 【英文关键词】CMN/CT Multilayered Thin Films Interface layer Microstructure Dielectric Properties 【目录】界面层对CMN/CT叠层薄膜结构和介电性能的影响 中文摘要 4-5 Abstract 5-6 目录 7-9 第1章 绪论 9-22 1.1 电介质薄膜 9-17 1.1.1 薄膜的制备技术及理论研究 9-10 1.1.2 电介质薄膜的性质及应用 10-14 1.1.3 异质叠层电介质薄膜的研究现状 14-17 1.2 异质叠层电介质薄膜的表面与界面 17-20 1.2.1 薄膜的表面与界面 17-18 1.2.2 异质叠层电介质薄膜的表面与界面 18-19 1.2.3 表面与界面对异质叠层薄膜结构和性能的影响 19-20 1.3 本文研究的目的、意义和内容 20-22 第2章 CMN/CT叠层薄膜的制备和结构及性能分析 22-32 2.1 实验原料与设备 22-23 2.1.1 实验原料 22-23 2.1.2 实验设备 23 2.2 CMN/CT叠层薄膜的制备 23-29 2.2.1 旋涂法制备CMN/CT叠层薄膜 23-24 2.2.2 电极材料和衬底基片的选择 24-25 2.2.3 前驱体溶液的制备 25-26 2.2.4 CMN/CT叠层薄膜的制备 26-29 2.3 CMN/CT叠层薄膜的结构和性能分析 29-32 2.3.1 X射线衍射分析(XRD) 29 2.3.2 薄膜的微观结构分析 29-30 2.3.3 薄膜介电性能测试 30-32 第3章 界面层对CMN/CT薄膜结构和性能的影响 32-44 3.1 电极界面层对CMN/CT叠层薄膜的影响 32-35 3.1.1 电极界面层对薄膜相结构的影响 32-33 3.1.2 电极界面层对薄膜微观形貌的影响 33-34 3.1.3 电极界面层对薄膜介电性能的影响 34-35 3.2 异质界面层对CMN/CT叠层薄膜的影响 35-39 3.2.1 异质界面层对薄膜相结构的影响 35-36 3.2.2 异质界面层