单电荷态电子回旋共振离子源 丁俊章 赵玉彬 刘占稳 赵红卫 袁 平 曹.doc

　第 24 卷 　第 1 期 核 　　技 　　术 Vol. 24 , No. 1 　 　2001 年 1 月 NUCL EAR TECHNIQU ES January 2001 　 　　 　　 45 GHz 单电荷态电子回旋共振离子源 丁俊章 　赵玉彬 　刘占稳 　赵红卫 　袁 　平 　曹 　云 　雷海亮 张子民 　张雪珍 　张 　汶 　郭晓虹 　王 　辉 　冯玉成 李锦玉 　马保华 　高级元 　宋 　沛 　李锡霞 (中国科学院近代物理研究所 　兰州 　730000) 摘要 　描述了一台 2. 45 GHz 单电荷态电子回旋共振 ( ECR) 离子源的原理、结构与应用。介绍了 其微波系统与磁场结构。在微波输入功率约 600W ,引出高压 22kV ,引出孔径为 6mm 时 ,该离 子源的总束流 I (H1 + + H2 + + H3 + ) 可达 90mA。 关键词 　ECR 离子源 ,微波 ,等离子体频率 ,永磁体 中图分类号 　 TL503. 3 电子回旋共振( ECR) 离子源是一种无阴极源。它具有电离度高 ,形成的等离子体密度高 , 束流强度大 ,性能稳定可靠等优点。对 2. 45 GHz 全永磁单电荷态 ECR 源 , 所用微波频率在工 业通用频率段 ,无需强的共振磁场 ,采用永磁体减小了源体的体积。这些特点不仅降低了离子 源造价 ,而且能长期提供稳定的高品质离子束。在离子注入、离子刻蚀、薄膜技术、辐照育种、 材料表面改性、离子束沉积等工农业、医学与科研领域得到广泛的应用。 1 　离子源的结构及原理 离子源的结构如图 1 所示。等离子体弧腔采用双层结构 ,用去离子水循环冷却 ,内径为 7cm ,长 7cm。引出采用加速 - 减速电极系统 ,加速和减速间隙分别为 6mm 和 3mm。产生的 单电荷态离子先经过 6mm 单孔等离子体电极 ,再通过吸极引出。吸极加负电位 ,它与地极 之间的电场可阻止束流路径中的电子被反向加速至离子源内。工作气体通过微波窗旁两个进 气孔进入腔体。 在离子源腔体内 ,轴向磁场由永磁铁与三个辅助线包产生 ,当馈入微波频率与电子在磁场 中的拉摩回旋频率相等时会产生共振 ,电子获得能量 ,从而使腔体内的工作气体电离形成等离 子体。共振应满足 f ce = 28 B0 (1) 式中 , f ce为电子回旋共振频率( GHz) ; B0 为静磁场磁感应强度 ( T) 。当 f ce为 2. 45 GHz 时 ,按 (1) 式 , B 应为 8. 75 × 10 - 2 T 。实际在等离子体腔内 ,由于受到等离子体密度和回旋电子的去 - 2 T 附近形成共振并吸热。等离子体加热与 磁作用等因素的影响 ,电子会在 B0 为 8. 75 × 10 其密度及静磁场之间的关系即 CMA 图见文献[1 ] 。这是经典加热理论得出的结果 ,但对于低 温等离子体的加热来说 ,所显示的许多趋势仍是正确的。当电磁场沿磁场降低的方向向电子 回旋共振区域传播时 ,非寻常波(X 波) 被反射 ,只有右旋极化波(R 波) 在这种条件下能到达电 子回旋共振区域产生共振。 第一作者 :丁俊章 ,男 ,1975 年出生 ,2000 年 7 月从中国科学院近代物理研究所核技术及应用专业硕士生毕业 收稿日期 :1999 - 08 - 16 , 修回日期 :2000 - 04 - 30 ? 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.  44 核 　　　技　　　术 第 24 卷 　 对 2. 45 GHz ECR 离子源来说 ,为了获得流强足够高的质子束 ,腔体中形成的是密度很高 的非共振等离子体 ,约为 1018 —1020/ m3 。其等离子体密 度远大于该频率下的 经典的等离子体截止密度。 在该离子源中 ,腔体中的静磁场的磁感应强度大于 B ECR 。在这种高磁场、高密度的等离子体区域中 ,电磁波 以θ角入射时 ,电子可以发生共振加速。共振应满足的条 件是 2 (ωRF2 - ωUH2) + ωce2ωpe2cos2θ = 0 (2) ωRF 式中 ,ωRF为馈入微波频率 ;ωUH为高混杂频率 ;ωce为电子 回旋共振频率 ;ωpe为等离子体频率 ;θ为波矢量 K 与静磁 图 1 　离子源结构 微波窗 ,2. 永磁铁 ,3. 线包 ,4. 腔体 ,5. 等 离子体电极 ,6. 加减速电极 ,7. 陶瓷 , 8. 法拉第筒 Fig. 1 　The structure of ion source Microwave window , 2. Permanent magnets , 3. Solenoids , 4. Pla