第八章 光学扫描检测技术和系统.pdfVIP

第八章光学扫描检测技术与系统 主要内容 §8.1 概 述 §8.2 光学扫描系统 §8.3 光学扫描技术 §8.4 光学扫描技术的应用 §8.1 概 述 光学系统的光束传播方向随时间变化而变化，这种光学系统 称为光学扫描系统。扫描技术是70年代中期以后出现的一种新的 动态检测测试技术。它主要利用白光或激光形成对被测对象的扫 描运动，配合光电器件，电子技术与计算机，构成各种精密测试 方法。这种技术适合于作精密自动检测与远距离检测，特别适宜 于对弹性体、柔性体、高温物体作精密测量。近年来这种光扫描 技术发展很快，其主要原因是： （1）激光器的商品化，即价格大幅度降低，寿命大大增加，在产品 上完全可能应用 （2 ）光电子技术的迅猛发展。数字显示，微计算机的大批量生产与 应用 （3 ）体积小，作业效率高 §8.2 光学扫描系统 物镜扫描系统 光学扫描系统 物镜前扫描系统 物镜后扫描系统 §8.2 光学扫描系统 8.2.1物镜扫描系统原理 物镜L的焦距为f ，一束平行光于物镜L的光轴入射，且平行光束的中心 距物镜光轴为x ，当物镜L严格校正像差后，平行光通过物镜L后一定聚焦于 焦面上光轴处。若物镜L绕平行光束的中心轴线转动时，则平行光束的聚焦 点在物镜的焦平面上扫描半径为x 的圆，只要调整物镜光轴和平行光束中心 轴线间的距离，任意半径的扫描圆均可得到。当然所得的扫描圆的最大直径 小于物镜L的直径。其原理图如图8-1所示 图8-1 物镜扫描系统原理图 §8.2 光学扫描系统 8.2.2物镜后扫描系统原理 在物镜后扫描系统中，扫描反射镜位于物镜之后，其优点是物镜口径小， 扫描物镜只要求校正轴上点像差即可。物镜后扫描系统的缺点是扫描象 面为一曲面，因此不利于图像的接收与转换。其原理图如图8-2所示 L D R φ L 图8-2物镜后扫描系统原理图 §8.2 光学扫描系统 8.2.3物镜前扫描系统原理 扫描反射镜位于物镜的前方，只要物镜严格的校正轴上点和轴外点像差， 即可得到很好的扫描成像质量，又可使扫描象面成一平面，因此一般的光学扫 描系统多采用物镜前扫描形式。原理图如图8-3所示 为了保证物镜前扫描系统在扫描象面上得到均匀的象面照度和尺寸一致的 扫描象点，扫描物镜一般设计成象方远心光路，使其象方主光线始终垂直扫描 象平面，这种扫描系统又称作远心扫描系统。 若要保证远心扫描特性，除扫描物镜本身作设计上的要求外，对提供给 扫描物镜光束也必须满足象方远心系统的成像要求，即只有扫描反射镜的转 动轴心与扫描物镜的物方焦点重合，才能使轴外扫描光束的中心线（主光线） 通过物镜的物方焦点，构成象方远心光学系统，如图8-3所示。