无铅压电叠层驱动器极化工艺及驱动性能研究.pdf

第 39卷第1期 压 电 与 声光 Vol . 39 No . 1 2017年2月 PIEZOELECTRICS a ACOUSTOOPTICS Feb . 2017 文章编号 # 0 0 4 -2 4 7 4 (2 0 1 7 )0 1 -0 0 9 2 -0 5 无铅压电叠层驱动器极化工艺及驱动性能研究 姚 萌 ，杜慧玲，史 翔 ，安群力，任广林 ( 西安科技大学材料科学与工程学院，陕西西安 710054) 摘 要 ：为 提 升 （5 . 5 9 . 5 ) 〇)3- 0 0 . 5 9 5 ) 〇)3 ( ( ) - 0 ) ) 系 无 铅 压 电 陶 瓷 压 电 性 能 ，开发新型无铅压电叠层 驱 动 器 ，该文采用单因素方差分析与正交试验设计方法优化研究了 0 . 8 N B T - 0 . 2 K B T 压电陶瓷的极化工艺，最优 极 化 工 艺 为 极 化 电 场 6 R V / m m ，极 化 温 度7 0 ° C ，极 化 时 间5 0 m i $ 保 压 时 间 2 1 m i $ 测 得 压 电 系 数 ‘ 3 达到 1 0 8 PC / N ; 制备了无铅陶瓷叠层驱动器，并基于三角放大原理和柔性铰链结构设计一种新型外置放大机构，分别对 有无外置放大机构的叠层驱动器微位移量进行对比测试，结果表明，与有外置放大机构的叠层驱动器相比，直接驱 动的叠层驱动器位移量放大了 3. 7 倍 ，在 1 5 0 V 驱动电压下位移量达到 25 % m 。这种无铅压电陶瓷驱动器具有大 位移量、稳定性及低成本等特性，有望应用于微精密定位系统领域。 关 键 词 ：无 铅 压 电 陶 瓷 ；正交实验 * 及化工艺；叠层驱动器*立移放大机构 中图分类号：T M 3 5 9 . 9 文献标识码 ：A Study on the Polarizing Technique and Driving Performance of Stack Actuator Based on Lead-free Piezoelectric Ceramic YAO Meng,DU Huiling,SHI Xiang,AN Qunli,REN Guanglin (College of Materials and Engineering ，X i?an. U niversity of Science and Technology ，X i?an. 710054»China) piezo electric stack a c tu a to r s，th e p o la riz in g proce o f 0. 8 N B T -0 . 2 K B T piezo electric ceram ics has been stu d ie d by th e m ono fa c to r analysis o f variance and the o rth o g o n a l test. T h e re su lts show ed th a t the p iezo electric con stant reached to 108 p C /N w ith the p o lin g fie ld o f 6 k V /m m a n d te m p e ra tu re o f 70