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台灣茂矽電子股份有限公司 報告題目:　台灣茂矽公司光動圈介紹 組員: - 武氏春香 - 黃佳珮 台灣茂矽公司簡介 光動圈活動的特點 活動主題: 提升曝光機之產能 *PDCA的循環： 主題選定 6. 對策研擬 案例簡介及計畫行程 7. 對策實施與驗證 現況分析 8. 成果確認 應急對策 9. 標準化落實 真因解析與驗證 10. 殘留問題與活動檢討 11. 未來方向 I. 台灣茂矽簡介 成立日期: 1987年，其前身【美國茂矽】創立於1983年 1991年陸續購併美國茂矽與美國華智公司 資本額：102億 董事長：陳民良 - 股價：14.85（2342） - 員工人數: 650人 主要代工產品: ﹙6 晶圓代工 ﹚ - LTD 驅動IC - Trench MOSFET - Planar MOSFET - 快閃記憶體/ 嵌入式快閃記憶體 - 語音唯讀記憶體 - 光罩式唯讀記憶體 - 邏輯IC - 類比IC II. 茂矽光動圈 本次活動靈活運用QC手法、變異數分析和田口實驗計畫發，並結合本部門製程與設備方面相關的專業知識。以不增加機台條件下，縮短新產品在黃光部門的停留時間，以增加生產能力及提高機台使用率，以期得到黃光製程生產週期縮短的附加效益。 利用省略首件式作並結合預建程式降低新產品開發時程，使產品提早出貨，滿足客戶的要求，以提高公司在產業的競爭力和增加公司訂單是公司獲利，當然員工的獲利也可提升。 在圈的團隊活動中，不僅提升有行的貢獻(接訂單效益) ，對圈員彼此的默契、部門整體士氣及專業分析能力並提高不少。在與各部門的精英合作及協助後，並促進部門間交易與成長。 因縮短產品生產週期，交貨時效性增高，顧客滿意度大幅提升，相對公司的形象並有多助益。 籍由經驗傳承及承辦單位的協助，本部門於茂矽第五屆、第六屆及第七屆PIT競賽中皆被評選為優勝圈隊伍。 III. 提升曝光機之產能 PDCA循環 壹、主題選定 一、光動圈選定的方式: 提案人(包括5名)提出目前待改善之以下議題: 減低曝光機曝出不良圖形的比例 提升曝光機之產能 減少顯影液用量 降低疊對量測失效的比例 提升SPC Cpk直 然後，由圈員票選，透過迫切性、可行性、效益性、上級方針等評價項目來選定的提案結果是「提升曝光機之產能」被評價為最有效的第一提案。 二、選定題目的理由: 主要是以下理由: - 曝光機共有27台，依目前產品組合最大總產能僅到達38,800片/月。產品訂單有逐月提高的趨勢，這家公司預估至2004年08月將會達到39,500片/月，若產品組合不變則會超過曝光機最大產能。因此為了滿足將來更多的訂單量，他們以這個理由來選「提升曝光機之產能」活動主題。 貳、案例簡介及計畫行程 一、微影製成流程 二、案例介紹 黃光部門在生產設備上可以分成生產機台以及量測機台這兩大類。生產機台包括上述所介紹的光阻塗佈機、曝光機及攝影機。而量測機台則分成線寬量測機、疊對量測機以及顯微鏡檢測等。在人員分配以及公司正常營運發現，所有的生產以及測量機台除了曝光機以外，所有的機種每個月的產能皆達到40000片以上。但是唯有曝光機臺每個月的產能受限於38800片，因此可以說光學顯影部門整體的產能受限於曝光機的產能。而在公司擴產目標為40000片以上，38800片可以說無法滿足公司目標。因此我們才將提高曝光的產能作為這次的目標。 三、目標設定 四、計畫行程 管理循環 項目 時程表 分析手法 P 1 主題選定 查檢表、直條圖、雙軸折線、直條圖、甘特圖、關聯圖 2 案例簡介及計畫行程 3 現況分析 4 應急對策 魚骨圖、盒鬚圖、直條圖、查檢表、ANOVA、DOE、柏拉圖、散佈圖 5 真因解析與驗證 6 對策研擬 D 7 對策實施與驗證 ANOVA、直條圖、折線圖、盒鬚圖、雷達圖 C 8 成果確認 A 9 標準化落實 查檢表 10 殘留問題與活動檢討 查檢表 11 未來方向 查檢表 参、現況分析 在2004年五月份所做的測試，每台曝光機平均輸出量為668層/天，目前最大產能平均輸出量為767層/天。其中PNKS071/151/211（A群）相較高於其餘曝光機（B群），且最高最低差甚至達兩百多片。以下是關聯圖探討，說明為何曝光機輸出量B群小於A群。 主要的原因在於三點：一為當機時間，二為較長的生產時間，三是較長待機時間。 以下我們別將個別因素作分析，發現當機時間與曝光機輸出量是呈現零相關性，而待機時間與曝光機輸出量是呈現弱正相關性，曝光機省略首件試作比例與曝光機輸出量呈現強正相關。 所以我們現無首件試做比