基干铌酸锂单晶基片双频点超声功率换能器策划与实现.docVIP

基于铌酸锂单晶基片的双频点超声功率换能器的设计与实现 　　摘 要超声功率换能器主要是用于超声功率量值传递，是能够产生标准超声功率剂量的标准器，在超声功率计量体系中具有重要的地位，有着超声功率量值的承上启下的作用。目前国内多数的超声功率换能器是基于陶瓷晶片设计的，本文提出一种基于铌酸锂单晶基片来设计能够实现两个频率输出的超声功率换能器。主要介绍设计原理和输出超声功率的数据分析 【关键词】超声换能器 铌酸锂 压电晶片 超声功率 在超声技术研究和应用中，声压、声功率和声强等是基本声学量，其中声功率是最受关注的。超声量值的准确程度直接关系到超声科学领域研究的准确性，关系到超声设备性能评定的准确度。超声功率是超声处理和医用超声中的重要参数，特别是在医用超声检查、治疗中，为了避免因超声剂量过大使患者受到伤害，超声设备的输出声功率（或声强）规定具体限值，并要求对其量值进行计量检定（或测试）。超声功率换能器发射固定频率与稳定功率的超声波，作为超声功率国家基标准装置间的传递标准，也作为主副基准间比对的载体，确保超声功率计量中超声基本量的复现，是确保超声量值准确性的关键装置；被用来直接地检定各个等级的超声功率计，完成超声功率量值的顺利传递与溯源 在国际上，超声功率换能器的工作频率普遍较高。德国联邦物理技术研究院在上世纪末研制的铌酸锂单晶换能器基频为2MHz左右，且在其3次与5次倍频上稳定输出超声功率量值，最高频率达10MHz。该院07年研制的换能器可进一步采用7次倍频工作，频率高达15MHz。从国内外研究的发展趋势来看，通过选择合理的压电材料和匹配电路的设计，超声功率换能器的频率在不断提高，输出功率范围也不断扩大，并实现了单个换能器多频率点倍频工作的目的 本文结合理论方法研究和具体实验设计数据分析，介绍基于铌酸锂单晶基片实现两个频率点超声功率输出的超声功率换能器，并通过实验数据证明其超声功率输出的线性 1 铌酸锂基片的介绍 超声功率换能器的关键部分是所有采用的压电材料，目前国内外，压电材料的研究越来越多，而且发展速度特别快。从初期的天然压电晶体的探索和研究，到人工压电晶体、甚至以压电复合材料的合成，这些压电材料的性能取得很大的改善，不同特性有不同的用途，其种类随着科技的进步越来越多。当前压电材料主要有五类，即压电单晶体、压电多晶体、压电高分子聚合物、压电复合材料以及压电半导体等。本文设计的双频点超声功率换能器，采用压电单晶晶体――铌酸锂晶体作为换能器的压电材料 铌酸锂（LiNbO3）是具有强压电效应的铁电晶体之一。科学家通过实验在1949年发现铌酸锂晶体具有铁电性，1965年Ballman利用Czochralshi技术成功生长了铌酸锂（LiNbO3）单晶，在后续的研究，大直径、同成分的铌酸锂晶体晶体也能够通过相应技术生长出来，此后铌酸锂晶体被广泛应用和研究 铌酸锂晶体具有高居里点，高达1210℃，在很宽的温度范围内，其固有特性和参数随温度的变化不大，非常适合用于高温度条件下工作的各类换能器；同时还有良好的机械性能，高机械品质因数，结构稳定适用于超声类换能器。在36°Y切割时，可以获得振动耦合系数为0.55，可以实现高频率输出的耦合匹配，非常合适制作高频超声换能器，其频率常数约为3.30MHzmm，同时传播的超声损失较小，声阻抗高，所以广泛应用于超声技术中 2 超声功率换能器的设计 2.1 铌酸锂晶片的切割 铌酸锂晶片对不同切割方式，晶片具有不同振动模式和压电性能。铌酸锂晶片在施加了电场后能够实现与电场平行的超声波输出，工作于厚度伸缩振动模式，也就是TE模。在这种模式下，由于铌酸锂具有高机械品质因数，机械能和电能损耗都非常小，所以铌酸锂晶片具有高的机电耦合系数，能量转换效率就非常高 根据工程应用经验，采用z-cut得到的铌酸锂晶片，在超声换能器应用中，其耦合系数仅有0.17，相比常用的石英x-cut晶片相差不多，优势并不明显。而采用36°rotated y-cut铌酸锂晶片在TE模式中，质点振动方向与晶片法向夹角约2°，具有高耦合系数，相比采用石英晶体实现的晶片优势非常明显。通过对晶体振动的TE模式振动的的分析，可知采用铌酸锂36°rotated y-cut晶片是较有优势的选择 2.2 铌酸锂晶片电极层的设计 晶片最后一加工工作就是电极的镀膜，此次设计采用镀金膜层作为电极，为实现电学两极的镀金，在其中一面用约1mm的圆环形来分割绝缘两电极。晶片的有效发射面为与信号线链接的中间圆形岛状电极，另外一极与换能器不锈钢外壳接触形成接地端，这就可以实现在晶片两面施加电场实现超声波振动 这样的电极设计主要是实现能限振动模式，也称为能量封闭振动模式。这种振动模式在超声换能器应用中广泛被采用，特