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浅谈三坐标测量机应用滚珠直线导轨时应注意的问题 　　摘 要：本文以滚珠直线导轨的运动精度试验为基础，结合三坐标测量机的误差原理，进行理论分析，论述了在三坐标测量机中应用滚珠直线导轨时应注意的问题，为三坐标测量机的设计开发提供了理论依据 关键词：运动直线度误差；运动角误差；运动精度；滚珠直线导轨 Abstract： In this paper， we do the theoretical analysis on the basis of movement precision test for the ball linear guide，combined with the error principle of three coordinate measuring machine. This paper discusses the problems which should pay attention to when three coordinate measuring machine apply the ball linear guide. This provides theory basis for design and development of three coordinate measuring machine. Keywords： motion straightness error； motion rotarional error； motion accuracy； ball linear guide 中图分类号：TH721 文献标识码：A0. 引言 近年来，随着制造技术的发展，滚珠直线导轨（以下简称导轨）以其精度高、刚度高、摩擦因素小、运动灵活、低速运动平稳等特点，被广泛应用于精密机床、数控机床和测量仪器中。我们在三坐标测量机的设计开发中应用导轨时遇到了诸多问题，本文将以导轨的运动精度试验为基础，结合三坐标测量机的误差原理，进行理论分析，论述了在三坐标测量机中应用导轨时应注意的问题 1. 与导轨有关的几何误差 三坐标测量机共有21项几何误差，其中与导轨有关的有15项，即每个运动方向的导轨各产生5项误差，它们是2项运动直线度误差和3项运动角误差 如滑板沿x轴运动，它的运动直线度误差包括在y轴的运动直线度误差δy（x）和在z轴的运动直线度误差δz（x），其中x表示滑板在x轴的位移量，下标y、z表示误差变动的方向，它们都是位移量x的函数；它的运动角误差包括绕y轴回转的运动角误差εy（x）、绕z轴回转的运动角误差εz（x）以及绕x轴回转的运动角误差εx（x），其中括号内x表示滑板在x轴的位移量，下标x、y、z表示转轴的方向 2. 试验原理 当滑板沿x轴运动时，每隔一定距离，电感测微仪能够准确地显示出该位移时滑板沿y轴或z轴的变动量或电子水平仪能够准确地显示出该位移时滑板绕x、y或z轴的运动角误差，将测量结果存入计算机，并进行数据处理和分析，在其他因素都不变的情况下，改变单一因素，分析导轨5项运动误差的测量结果 3. 试验数据分析及结论 3.1 滑板刚度 试验采用厚度分别为20mm和40mm的滑板进行测试，对比测量结果，当其他因素不变时，滑板刚度增大，运动角误差εy（x）减小 3.2 导轨跨距c 试验通过测量导轨跨距c为50、100和150mm时的各项运动误差，对比测量结果，当其他因素不变，导轨跨距c增大，运动角误差εx（x）减小 3.3 滑块跨距d与导轨安装孔距λ 从测量结果中我们发现，滑块跨距d与导轨安装孔距λ存在以下关系：当滑块跨距d为导轨安装孔距λ的半数倍时，运动直线度误差δz（x）和运动角误差εz（x）会随着位移进行周期性的波动，在三坐标测量机的设计中，出现这种周期性的波动是不允许的；当滑块跨距d为导轨安装孔距λ的整数倍时，运动直线度误差δz（x）和运动角误差εz（x）则不会随着位移进行周期性的变动 导轨是用锁紧螺钉固定在机台上的，导轨是一弹性体，锁紧螺钉所产生的压缩力会使其发生变形，这里采用NSK LH30导轨进行分析，导轨的上下球沟道的两个表面都经过磨削，标准要求是导轨安装孔座表面比下沟道的中心略低，用FEM（有限元）分析，如图1所示，在低于导轨安装孔座表面的地方存在很大的变形，最大的变形在接近下沟道处（③处）和接近导轨安装孔座表面（②处），因此，由于螺钉锁紧引起导轨变形，产生随着导轨安装孔距λ进行周期性的变化，从而反映到运动直线度误差δz（x）和运动角误差εz（x）中，所以在三坐标测量机的设计时，应尽量将滑块跨距d设计为所选导轨安装孔距λ的整数倍，防止运动直线度和运动角误差出现周期性的波动 3.4 导轨安装孔距λ与深