微压力传感器参数设计及灵敏度分析.pdfVIP

2011年 仪表技术与传感器 201l 第7期 Instrument andSensor No．7 Technique 微压力传感器参数设计及灵敏度分析 郑玮玮k2，刘学观1，赵光霞3 (1．苏州大学电子信息学院，江苏苏州215123；2．镇江高等专科学校电子与信息系，江苏镇江212003； 3．镇江高等职业技术学校机电工程系，江苏镇江212016) 摘要：对传感器的灵敏度理论进行了详细分析，得到了传感器的灵敏度与应力和应变的关系。通过有限元仿真软件 对传感器的灵敏度和线性度进行了研究，分析了膜片的厚度、岛的高度和梁膜片的长度对传感器性能的影响，为传感器芯 片的设计提供了重要的依据。 关键词：传感器；灵敏度；理论分析；参数仿真 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2011)07—0015—03 Parameterand of Micro-PressureSensor DesignAnalysisSensitivity ZHENG Wei—weil”，HUXue—guanl，ZHAOGuang-xia3 of 。(1．SchoolInformation，SuzhouUniversity，Suzhou 215123，China； ofElectronicsand 2．Department Information，Zhenjiang College，Zhenjiang212003，China； ofMechanical Vocational 3．Department Engineering，ZhenjiangHigh TechnologySchool，Zhenjiang 212016，China) theoreticalof8eIlSOr in w88carriedout detail．The between andstressand Abstract：Sensitivityanalysis sensitivity relationship $trainwas and ofsensorwereresearched．Thethickness presented．Thesensitivitylinearity of altitudeoftheisland diaphragm，the and ofthebeam we∞studiedinorderto theinfluencethe