特殊器件低温烘烤排气的实验研究-中国气体分离设备商务网.PDF

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2017-06-01 发布于天津
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第卷第期真空与低温 )# . ! 年月 -##. )- N;9BB@ O I32 0659 -)) C7 特殊器件低温烘烤排气的实验研究米伦!马蔚珊 ! 中国工程物理研究院电子工程研究所!四川绵阳 # *-)L## ! 摘要!针对特殊器件烘烤温度低于-##a 的要求!分析了影响管内真空度的相关因素!进行了升温过程中烘 ! 烤温度对真空度影响的实验研究!取得了在约 )!#a时器件内材料放气量大真空度相对最低等相关数据!依此确定了升温速率及烘烤工艺# 关键词!真空排气$烘烤温度$真空度中图分类号! 文献标识码! 文章编号! % $[!’ ( )##*+!#,*-##. #.+#-))+#. *T-*#$*%/=,/+(*,1%,-*’=(*)’*(*:,,%: /=14*# SL%: /*$-*#/+#* ! $=26 $ 4;38B@6 % ! ! ’@36FM;X AD*636;;K36 -@B3FB$366 ‘ON_II ’@36 E 7 7 E E 7 ’ JBCKFC $/0D;456 =0@ 03;=B302?;903=;56095;:0A5905566002?B603-##+906=0300$/056?:B0690 7 8 8 7 2?D;456 =0@ 03;=B302603002?A;9BB@ B356 /0;=56 B 1;0W 035@06=;:=B50I2330:;=5A056?:B06956 ?;9+ 7 8 7 7 7 8 8 7 =231030;6;:j0$/030B:=/21 =/;=2B=;56 B;6=5= 2?0A5905@;W5@B@ ;603002?A;9BB@ 5@565+ C 7 7f C 7 ! ! @B@ ;=)!#+906=0300 ;992356 : =/0A;9BB@ 0W/;B==09/62:2 59;:=;6;3;300=03@560 7 7C 7 ’ $ $ L; AKMB A;9BB@ 0W/;B= D;456 =0@ 03;=B30 03002?A;9BB@ E 7 8 7 N 引言 ! ! 真空是电真空器件正常工作的基础!而器件的真空度是通过