生物医用钛合金表面离子束辅助沉积氧化钛膜层.pdf

生物医学工程学杂志 　2005; 22 (4) ∶742～ 744　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 J B iom ed Eng 生物医用钛合金表面离子束辅助沉积氧化钛膜层 1 2 1 2 司红羚 　田林海 　李晓红 　付　涛 1 (西安交通大学 口腔医学院, 西安　7 10004) 2 (西安交通大学 材料科学与工程学院, 西安　7 10049) 　　摘要　为改善钛合金( 6 4 ) 的生物相容性, 采用离子束辅助沉积( , ) 技 T i A l V Ion b eam enh an ced depo sit ion IB ED 术制备了氧化钛膜层。结果表明: 钛合金上的膜层涂覆均匀, 基体的铝和钒元素已经探测不到, 膜层为含氮和沿 ( ) 相; 膜层划痕实验的临界载荷为 16. 8 , 膜层以塑性变形的方式破坏。 111 面取向的T iO N 关键词　钛合金　离子束辅助沉积　氧化钛 T itan ium O x ide L ayer on B iom ed ica l T itan ium A lloy D epo s ited by Ion Beam En han ced D epo s it ion 1 2 1 2 　 　 　 Si Hon gl in g T ian L in ha i L i X iaohon g Fu Tao 1 (S chool of S tom a top a thy , X i’an J iaotong U n iv ers ity , X i’an　7 10004, Ch ina) 2 (S chool of M a ter ia ls S cience and E ng ineer ing , X i’an J iaotong U n iv ers ity , X i’an　7 10049, Ch ina) 　　Abstract　Ion b eam enh an ced depo sit ion ( IB ED ) h a s b een app lied to p rep are t itan ium ox ide layer on t itan ium ( 6 4 ) . , a lloy T i A l V in o rder to im p rove it s b iocom p at ib ility T h e layer on t itan ium a lloy is even an d th e e lem en t s A l .