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多层介质膜脉宽压缩光栅的严格矢量分析.pdf
光学学报 Vo l. 26 ,No. 5
第 26 卷第5 期
2006 年 5 月 ACTA OPTICA SINICA May , 2006
文章编号: 0253-2239(2006)05-0652-5
多层介质膜脉宽压缩光栅的严格矢量分析铃
刘世杰1，2 孔伟金1，2 沈自才1，2 部建达1 贺洪波1 范正修1
c 中国科学院上海光学精密机械研究所，上海如71#却20O四m肌O∞O
2 中国科学院研究生院，北京 100049
摘要: 用于展宽和压缩激光脉冲的多层膜脉宽压缩光栅是由多层介质高反膜和位于其顶层的浮雕光栅构成。以
设计的高反射多层膜为基础，利用傅里叶模式理论分析了其衍射场分布，给出了 TE 波自准直角入射的使用条件
下，多层介质膜脉宽压缩光栅衍射效率的表达式。以一1 级衍射效率为评价函数，分别讨论了 HfO，和 SiO，为顶
层材料时，多层膜脉宽压缩光栅-1 级衍射效率高于 O. 95 的光栅结构参量范围。结果表明，在该条件下，选择
Hf0 为顶层材料时，光栅结构参量有较大的取值范围。给出了优化的光栅结构参量，并分析了光栅制作误差及其
2
使用条件的宽容度，对光栅制作工艺和使用具有一定的指导意义。
光栅;衍射;模式理论;多层介质膜;衍射效率;自准直角
关键词:
: TB132 文献标识码:A
中图分类号
Rigorous Vector Analysis of Multi-Layer Dielectric Film Pulse
Compression Gratings
1 2 2 1 1 1
Liu Shijie • Kong Weijing 1. Shen ZicaP ,2 Shao Jianda He Hongbo Fan Zhengxiu
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