电子能谱XPS分析1北师大测试中心吴正龙.docx

北师大电子能谱分析指南0 常见问题解答为什么我的样品结果（EXCEL 文件）中只有一个元素的谱？请打开EXCEL，在datasheet中查收数据，如下图。或请教其他有使用经验的老师、同学。用鼠标点击查找所需要的谱图用鼠标点击箭头，寻找谱图0.2 为什么不给我峰拟合处理？我们可以给出一些简单、明确的峰拟合供您参考。但是，有时峰拟合受到多种元素影响，情况复杂，分析人员难以得到唯一、确定的结果。具体涉及样品情况、所研究问题等。送样人应根据制样过程、样品状况、研究内容等进行处理。峰拟合属于后期数据处理，可以帮助分析，不是实验测量的原始结果。送样人如果确实需要分峰处理(去谱峰卷积)及其它数据处理要求，可以提供峰拟合及其它所需相关信息资料，预约数据处理服务项目(联系电话010 电子邮箱wuzl@)，我们尽可能地满足大家的需求。0.3 我的样品很“干净”，为什么XPS结果仍有额外的C等元素？XPS表面分析灵敏度高，探测表面（～原子层）元素，样品在保管、传送、分析的过程中暴露在气氛中不可避免地会受到污染，C、O是最常见、最大的污染。Na也是常见的污染元素。0.4 如果样品表面脏，可以用氩离子清洁吗？几乎所有电子能谱仪均配备有氩离子清洁装置。可以用于清洁样品，但会带来副作用，即对样品表面破坏，且对样品的破坏程度无法正确预估。应该尽量选择温和、可接受的实验条件清洁样品，并不是溅射时间越长越好。0.5我样品的XPS含量结果与电镜能谱（EDS）测量结果存在差别？XPS属于表面分析结果。EDS分析深度比XPS大得多。测量原理不同。未经分析校正两种结果不好比较。0.6 得到实验结果如何分析？先进行峰位校准。结果报告的是相对于某标准的参考峰（本实验一般使用C1s 284.8eV）。一般用污染C1s峰（可以根据碳来源和需要采用284.6eV，284.8eV，285.0eV）对所有峰进行校准。即使分析人员已经进行了校准也可重新检查校准峰位。定量结果报告见“peak table”。请参看本文“2～4”章节。0.7 自行处理数据从哪里下载软件，有无中文说明书？下载Avantage软件试用版（30天过期后，临时修改计算机日期可以继续使用）：链接到我的存储空间中下载(国内下载)Avantage V5.48版本[下载地址:/link/i73DGH2u4Bcs5nHWBVZX51iPkDvHbrW89CEG9FeqErn3LIqf9bDGALL39rI8lhrktJ8WuvcdEqs8f86YhflJZ4g7gOA1tAlxJDFpQpbtjCt6fDmVhn7qH;限校内老师和学生用户下载 ]. 为避免麻烦推荐使用V5.48版本.对于一般用户V5.48足够使用.或者链接到英国工厂的网站上下载(可更新到高版本)www.surfsciftp.co.uk/avant5www.surfsciftp.co.uk/avant5/install5901.zip在英文系统中安装运行，可靠性高。建议使用ver5.5及以下版本，一般能足够满足用户需求。如果使用高版本出现提示需要‘用户密码’，可以按以下方法处理：如下图，重新用鼠标右键点击Avantage图标，运行“以管理员身份运行”项。试试！目前还没有Avantage的中文说明书。Avantage软件为Thermo Scientific 公司（原英国VG公司）编写，最好在Win7英文平台上运行。一般用户不必专门阅读说明书，只需使用软件中的在线帮助。据我所知，一般大家遇到的问题Help文件中都能找到。Avantage软件功能强大，推荐使用该软件进行XPS数据处理，例如常用的分峰处理，谱图叠加比较，定量计算等功能。用户进行分峰处理也可使用XPSpeakfit小软件（从internet网上可以下载软件和使用说明）。0.8 我的数据EXCEL文件有没有可能弄错？转换数据目前基本上是人工操作，有可能弄错。如怀疑有错误按下列方法查对，或与本实验室联系。打开报告给您的结果EXCEL文件，如：或者。2）着重注意方框中的数据文件与您的样品编号或名称是否相符。正常情况下EXCEL文件名与方框中数据文件的名称应该一致，且与您给定的样品编号或名称相符。如果出现问题请与实验室联系（本文件下方电话号码或email）。1．预备知识。阅读专业书，如：表面分析复旦大学出版社1989年第四章；X射线光电子能谱分析科学出版社 1988年第3章，第4章；表面化学分析华东理工大学 2007年第5章……2．峰强度I可以表示为1）峰高度，单位cps 或cnts；2）峰面积，单位cps·eV或cnts·eV。一般采用峰面积表示强度。在结果peaktable中有关项解释如下。Peak Area(N)＝PeakArea(P) / (SF * TXFN * ECF)（在EX