教授磁浮控制與元件開發實驗室.pdf

蔡南全教授 學歷： 美國賓州州立大學機械工程博士 磁浮控制與元件開發實驗室 美國賓州州立大學電機工程碩士 美國賓州州立大學機械工程碩士 國立成功大學機械工程學士 專長領域： ‧主動式磁浮軸承 ‧機電整合 ‧振動隔離 ‧陀螺儀與飛輪 ‧綠能科技 聯絡方式： nortren@mail.ncku.edu.tw 06-2757575 ext. 62137 高轉速磁浮渦輪分子幫浦之研發 渦輪分子幫浦為現階段能達成高度真空之 幫浦中最具競爭力之設計 ，目前包括台積 電與聯電等備有無塵室之製程廠均高度需 求此設備，以提升製程品質。由於渦輪分 子幫浦運作轉速高於5萬轉 ，故其關鍵技 術包括：高性能磁浮軸承 、數位控制器 、 高轉速馬達及高精密對稱之渦輪葉片結構 。 本實驗室針對渦輪分子幫浦之結構及動態 控制提出：整合高速馬達之主動式磁浮軸 真空分子幫浦實體照 承設計及 DSP數位式控制器 。主動式磁浮 軸承以磁浮非接觸方式調控渦輪轉子動態 ， 並整合高速馬達以實現全磁浮高轉速運作。 DSP數位式控制器具備高速運算特性 ，可 匹配高轉速之動態調控 ，此外 ，DSP具備 可程式化特性 ，故可輕易搭配各形式渦輪 分子幫浦 ，僅需調整參數 ，無需進行大幅 度之電路修改 。 渦輪葉片 高速全磁浮飛輪儲能電池 飛輪電池又稱 「動能電池 」，高速飛輪系統之關鍵技術包括： 高承載能力之磁浮系統結構設計 高轉速下之磁浮飛輪動態控制 高效率 MGU (Motor/Generator Unit) 本實驗室提出可連結電網(三相440VAC)之磁控高效能飛輪電池整備設計 子系統包括：鐘擺型飛輪磁控結構及盤型高效率MGU 。鐘擺型磁控結構整 合鐘擺型軸向 AMB(Active Magnetic Bearing)結構 、切換式徑向磁控設計、 自感測技術及模糊 PID控制系統 。頂置式鐘擺型軸向AMB設計 ，可簡化結 構設計難度並大幅提升動態穩定度 (不必額外耗費電力) 。切換式徑向AMB ，其電路設計簡單、反應速度快且可降低成本 (減少功率放大器之需求) 自感測技術與模糊 PID控制器之應用則分別免去了感測器之使用及增強高速 運轉下控制系統之強健性與反應速度 。盤型高效率之 MGU設計採盤型扁平 ，搭配整合變頻器之高效率電力轉換電路 ，除可縮減空間尺寸並提升 ，更易於與飛輪電池進行組配安裝 。 F1賽車 高速充 /放電 高儲能密度 優 應