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最新半导体器件测试技术与Keithley解决方案分享
最新半导体器件测试技术与Keithley解决方案分享
CN AE team
201509
目录
测量测试技术浅谈
– 时间与精度
– 负载与反馈
– 2线与4线
– 同轴与三轴
– 直流与脉冲
– 阻抗与电容
吉时利产品半导体测试应用举例及分析
– 半导体器件特性测量
– 功率半导体器件测量
– 自动化半导体参数测量
QA
2
测试测量技术浅谈
3
(一) 时间与精度
想要快速获得精确测试结果, 1msec
需要在测试时间与测试精度 116mV 50Hz 噪声
中选择一个平衡点:
DCV电平
115.5mV
114mV
测试窗口的积分时间 116mV1 1ms
ms
自动校零
上电稳定时间
平均值 = 0 50Hz 噪声
自动选择量程/切换时间
DCV电平
工频干扰对测试结果的影 (115.5mV) 1 PLC
响可以通过增加ADC的测
1/50 sec = 20 ms
量时间来解决,即调高
NPLC的数值
(一) 时间与精度
测试窗口的积分时间
自动校零 确保精度:读数要测量三次
上电稳定时间 VIN - VCOM
自动选择量程/切换时间 VMEAS = X VCAL
VREF - VCOM
VIN VMEAS
VREF ADC 处理
VCOM 和显示
追求速度: AUTO ZERO OFF - 只测量VIN
您可能会面临着速度和精度的平衡
(一) 时间与精度
DC 电信号开始施加到样品
测试窗口的积分时间 上时,有可能会需要一定的
自动校零 时间才会稳定,我们希望在
信号稳定后再进行测试
上电稳定时间
自动选择量程/切换时间 时间信号
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