最新半导体器件测试技术与Keithley解决方案分享.pdf

最新半导体器件测试技术与Keithley解决方案分享 CN AE team 201509 目录  测量测试技术浅谈 – 时间与精度 – 负载与反馈 – 2线与4线 – 同轴与三轴 – 直流与脉冲 – 阻抗与电容  吉时利产品半导体测试应用举例及分析 – 半导体器件特性测量 – 功率半导体器件测量 – 自动化半导体参数测量  QA 2 测试测量技术浅谈 3 (一) 时间与精度 想要快速获得精确测试结果， 1msec 需要在测试时间与测试精度 116mV 50Hz 噪声 中选择一个平衡点： DCV电平 115.5mV 114mV  测试窗口的积分时间 116mV1 1ms ms  自动校零  上电稳定时间 平均值 = 0 50Hz 噪声  自动选择量程/切换时间 DCV电平 工频干扰对测试结果的影 (115.5mV) 1 PLC 响可以通过增加ADC的测 1/50 sec = 20 ms 量时间来解决，即调高 NPLC的数值 (一) 时间与精度  测试窗口的积分时间  自动校零 确保精度：读数要测量三次  上电稳定时间 VIN - VCOM  自动选择量程/切换时间 VMEAS = X VCAL VREF - VCOM VIN VMEAS VREF ADC 处理 VCOM 和显示 追求速度: AUTO ZERO OFF - 只测量VIN 您可能会面临着速度和精度的平衡 (一) 时间与精度 DC 电信号开始施加到样品  测试窗口的积分时间 上时，有可能会需要一定的  自动校零 时间才会稳定，我们希望在 信号稳定后再进行测试  上电稳定时间  自动选择量程/切换时间 时间信号