靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究引用信息CitationActaPhysicaSinica,64.pdfVIP

Gd靶激光等离子体6.7nm光源的实验研究 窦银萍 谢卓 宋晓林 田勇 林景全 Experimentalresearchonlaser-producedGdtargetplasma source for 6.7 nm lithography DouYin-Ping XieZhuo SongXiao-Lin TianYong Lin Jing-Quan 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,235202(2015) DOI: 10.7498/aps.64.235202 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.235202 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I23 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 基于神光III原型的背向散射实验技术研究 BackscatteredLightdiagnostictechniqueonShenGuang-III prototype Laser Facility 物理学报.2013,62(17): 175202 /10.7498/aps.62.175202 激光-纳米丝靶相互作用过程中超热电子的加热机理研究 Heatingmechanismofhotelectronsintheinteractionbetween laser and nanolayeredtarget 物理学报.2012,61(22): 225202 /10.7498/aps.61.225202 驱动激光束间相干性以及对背向散射影响的研究 Researchofcoherencebetweendriven-laserbeamsand its influence on backscatter 物理学报.2012,61(18): 185202 /10.7498/aps.61.185202 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 23 (2015) 235202 Gd靶激光等离子体6.7 nm光源的实验研究 窦银萍 谢卓 宋晓林 田勇 林景全 (长春理工大学理学院, 长春 130022) ( 2015 年4 月3 日收到; 2015 年7 月13 日收到修改稿) 本文对Gd 靶激光等离子体极紫外光源进行了实验研究, 在 6.7 nm 附近获得了较强的辐射, 并研究了6.7 nm 附近光辐射随打靶激光功率密度变化的规律以及收集角度对极紫外辐射的影响. 同时, 对平面Gd 靶激光 等离子光源的离子碎屑角分布进行了测量, 发现从靶面的法线到沿着靶面平行方向上Gd 离子数量依次减少. 进一步研究结果表明采用0.9 T 外加磁场的条件下可取得较好的Gd 离子碎屑阻挡效果. 关键词: 极紫外光刻, 极紫外光源, 激光Gd 等离子体, 光源碎屑 PACS: 52.38.–r, 52.59.Px, 52.59.Ye DOI: 10.7498/aps.64.235202 离子体条件(电子温度在大约100 eV, 离子密度为 1 引 言 10 /cm ) 下可在6.7 nm 处2% 光谱带宽内获得高 10 达7%—8% 的转换效率 . O’Sullivan 等通过对 随着13.5 nm 极紫外光刻研发工作进入尾 原子序数为 的稀土元素的发射谱进 声14 , 世界众多的研究机构又开始了新一轮的 行实验研究, 发现Gd—Gd 离子在6.5—6.7 更短工作波长、分辨率可优于8 nm 的下一代极紫 11