太阳能电池单晶硅表面织构化正交试验.pdfVIP

( 自然 科学 版 ) 34 10 Journal of South Ch inaUn iversity of Technology Vol. 34 No. 10 200 10 ( Natural Science Ed ition) O ctober 200 文章编号: 1000-5 5X( 200 ) 10-0011-04 太阳能电池单晶硅表面织构化正交 验* 1 2 沈 辉 柳锡运 ( 1. , 510275; 2. , 510 40) 摘 要: 在单晶硅太阳能电池的制备过程中, 经常利用碱溶液对电池表面进 / 织构0, 以 形成陷光, 增强对光的吸收. 在 N aOH 溶液中制备硅片时, 由于各个晶面的腐蚀速率不同, 在硅片表面会形成类/ 金字塔0形绒面. 碱溶液浓度添加剂用量反应温度以及时间等都 会影响到绒面的形成. 文中通过正交试验方法, 分析了各个因素对绒面形成的影响, 得出 了最佳的试验条件为: 碱溶液浓度为 2. 5%; 反应温度为 95e ; 添加剂用量为 5%; 腐蚀时 间为 30m in. 关键词: 太阳能电池; 单晶硅; 正交试验; 织构化 中图分类号: TK 514 文献标识码: A , , , . NaOH , , , , / 0 , . , , , / 0. 1 试验原理与试验设计 , 1. 1 绒面/ 陷光0效果 [ 1] , . / NaOHKOHNa PO NaHCO 3 4 3 0, 1/ 0 [ 2-7 ] N aSiO . [ 8] 3 , I E. V azsonyi N aOH , , 1215% , , 11% [ 4] 100% . , ) ) ) 9. 04% [ 9] . , , . , , , , . 1 / 0