2011.12.23晚上温湿度点检数据与曲线图.pptVIP

2011年12月23日晚上无尘室温湿度点检数据及曲线图 2011-12-24 2011年12月23日晚上温度点检数据及曲线 无尘室温度监控记录（单位：°C） 日 班别 时间 ULC LCL 制绒 扩散 刻蚀 PECVD 网印 分选 23 夜 20:30 28 22 14.6 15.4 17.69 19.2 20.7 21.4 23:30 28 22 12.9 12.9 13.5 14.1 14.8 14.9 2:30 28 22 11.3 11.8 12.8 13.7 14.5 14.7 5:30 28 22 10.1 10.6 12.5 12.7 13.4 14 8:30 28 22 9.2 9.8 11.4 12 12.8 13.2 2011年12月23日晚上湿度点检数据及曲线 无尘室湿度监控记录（单位：%RH） 日 班别 时间 ULC LCL 制绒 扩散 刻蚀 PECVD 网印 分选 23 夜 18:30 60 40 28.7 27.9 27.7 26.7 30.5 30.2 20:30 60 40 32 32 31.8 29.8 28.8 28.1 22:30 60 40 38.1 37.1 33.6 31 29.8 30.2 0:30 60 40 41.7 38.6 37.9 33.9 31.8 31.7 2:30 60 40 432 40.1 38.7 35.4 32.6 33.1 4:30 60 40 45.4 42.5 40.5 37.8 35.5 35.4 * * * * * *