基于DMD的数码全息光刻系统.pdfVIP

第 3O卷第 5期 应 用 激 光 Vol|3O，NO．5 2010年 1O月 APPLIED LAsER October201O 基于 DMD的数码全息光刻系统 姜兆华 ， 张伟 ， 吴宾初 ， 沈冠群。， 王 国庆 (上海市激光技术研究所，上海 200233；。上海市激光束精细加工重点实验室，上海 200233) 提要 利用 DMD空间光调制器与计算机的 良好接 口和控制系统的可编程性，将其作为二维 图像发生器介入激光直写系统； 采用高质量相机镜头 ，设计 了基于 DMD数字微镜的激光面阵干涉成像系统和相关的光刻软件 ，并进行 了实验 ，制作 了缩微 图 像、数字掩模灰度图像和激光数码全息图像等 。 关键词 DMD空 间光调制器 ；激光全息 ；面阵干涉光刻 ；数字掩膜 doi：l0．3788／A0410 A DigitalHolographicSystem BaisedonDM D