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固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展-无机材料学报
第 25 卷 第 12 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 25 No. 12
2010 年 12 月 Journal of Inorganic Materials Dec. , 2010
文章编号: 1000-324X(2010)12-1233-09 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展
刘 罡, 朱嘉琦, 王 赛, 陆晓欣, 刘远鹏, 霍施宇, 袁欣薇
(哈尔滨工业大学 复合材料与结构研究所, 哈尔滨 150080)
摘 要: 固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术, 具有 2GHz 以上的工
作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性. 基于其独特的优越性, 固贴式薄膜体声波谐振
器成为了科研工作者们关心的热点, 并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用, 例如作为基本单元用来制作滤
波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件. 器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.
本文以器件结构为线索, 综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展, 包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌
等) 、高/低声阻抗材料以及电极薄膜, 讨论了材料性能和器件性能的关系, 并对材料体系下一步的研究方向进行了
展望.
关 键 词: 固贴式薄膜体声波谐振器; 压电薄膜; 布拉格反射栅; 电极薄膜; 综述
中图分类号: TB34 文献标识码: A
Progress in Materials Used for Solidly Mounted Film Bulk Acoustic Resonators
LIU Gang, ZHU Jia-Qi, WANG Sai, LU Xiao-Xin, LIU Yuan-Peng, HUO Shi-Yu, YUAN Xin-Wei
(Harbin Institute of Technology, Center for Composite Materails, Harbin 150080, China)
Abstract: Solidly mounted film bulk acoustic resonator (SMR-FBAR) is a breakthrough technology being developed
recently in the field of electronics industry and has many excellent features, such as operation frequency of above 2 GHz,
ultra-high Q factor and durable mechanical property, etc. The unique features of the SMR-FBAR make it not only be a
hot spot in labs, but also attractive in particular applications. Fo
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