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武汉大学微加工实验室收费标准与收费方式-武汉大学纳米科学与技术
武汉大学微加工实验室收费标准与收费办法
对于校内外普通用户采用如下收费标准。
校内普通用户，每机时按成本价收费。
校外普通用户，每机时按成本价的200%收费。
收费以半个小时作为最小计时单位。
由我方工程师代为操作时需额外支付200元/小时的代工费。
用户有义务在完成的成果中加入对纳米中心的格式：acknowledge the nanofabrication assistance from Center for Nanoscience and Nanotechnology at Wuhan University.
只有获得微加工实验室仪器设备独立操作资格的用户，才能进行独立操作。培训合格者发给有效期一年的独立操作证书。（培训TEM制样：电子束蒸发扫描电镜、引线仪 武汉大学微加工实验室校内用户收费标准
（校外用户按成本价的200%收费）
仪器 成本价 说明 FIB聚焦离子束系统 500元/小时 紫外曝光设备
(包括：涂胶,热板,显影台,显微镜) 300元/小时 自备光刻版。 纳米压印 300元/小时 自备模板。IPS膜单独计费 ALD 200元/小时 热蒸发 200元/小时 材料自备 RIE反应离子刻蚀系统 200元/小时 电子束蒸发 500元/次 起 根据蒸镀材料面议 SNOM 800元/小时 FTIR 100元/小时 最小计时单位0.5小时 台式扫描电镜 200元/小时 最小计时单位0.5小时 引线仪 200元/小时 最小计时单位0.5小时
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