第三章通用基础分析技术进展.PDFVIP

《分析测试仪器评议--从BCEIA’2015 仪器展看分析技术的进展》 第三章 通用基础分析技术进展 第五节2015 BCEIA 微观结构组仪器评议 在2015 BCEIA 上，扫描电镜、透射电镜及电子能谱等大型仪器如以往一样 大多是以样本的形式做了展示。微观结构组将对国产透射电镜这个亮点、冷冻电 子显微学的应用、X 射线光电子能谱能谱仪及相关技术、俄歇电子能谱仪等进行 介绍。 一、国产场发射扫描电镜的现状及前景分析 1. 场发射扫描电镜及应用简介 场发射扫描电镜（FE-SEM， Field Emission Scanning Electron Microscope ）是 市场前景广阔的高端通用重大科学仪器。扫描电镜具有诸多突出优点：首先，成像 分辨率达nm 量级，可用于材料的纳米结构和生物大分子等样品的直接观测；其次， 扫描电镜具有较大景深及视野，与荧光成像技术相比，所得图像立体感强，可真实 反映各种微观结构；再者，配合X 射线能谱检测等，可以在结构成像的同时进行成 分分析；另外，还有适应面广、样本损坏小、成像速度快等优点，在分子生物学研 究、微电子、微纳米机电系统（MEMS ）、材料科学、环境保护等研究领域得到了 广泛的应用，是现代科学研究中至关重要的大型高端通用科学仪