误差分离技术在平面镜瑞奇-康芒法检测中的应用.pdfVIP

第22卷第1期 光学精密工程 V01．22NO．1 andPrecision 2014年1月 Optics Engineering Jan．2014 0007—06 文章编号1004—924X(2014)01 误差分离技术在平面镜瑞奇一康芒法检测中的应用 朱 硕1’弘，张晓辉1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院大学，北京130049) 摘要：为了提高瑞奇一康芒法检测平面镜面形误差的精度，提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关 系插值拟合平面镜面形的方法。结合最小二乘法分析，解算了由光路调整引入的离焦误差，获得了更为真实的平面镜面 nm)量级。对口径为40mm的小口径 形误差。理论仿真分析显示，此方法的平面镜测量误差可控制在A／100(^=632．8 平面镜进行了实际检测，检测过程中通过多角度旋转被测平面镜，利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢 复，在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0．0186A，与干涉仪直接检测得到的RMS值0．021A相比，残 差为0．002 4A。实验结果证明了此种误差分离技术在瑞奇一康芒法对平面镜面形检测时的有效性与准确性。 关 键 词：光学检测；平面镜；瑞奇一康芒法；误差分离；最小二乘法 中图分类号：TH706文献标识码：A doi：10．3788／0PE0007 oferror to testforflatmirrors ApplicationdetachingRitchey-Common ZHUShu01孙。ZHANGXiao—huil Institute Mechanicsand of Sciences， (1．ChangchunOptics，Fine Physics，ChineseAcademyof 130033，China； Changchun Chinese 2．Universityof of 100049，China) AcademySciences，Beijing author，E-mail：zhushuol986@126．corn *CorrPspo挖di卵g the of testforaflat Abstract：To mirror，anewmethodtousethe improveaccuracyRitchey—Common betweenthe coordinateandthetestmirrorcoordinateto andfit relationship system pupil interpolate thetestmirrorsurfacewas thebasisoftheleast er—