太赫兹波地几个基本问题.PDFVIP

Expert Forum 太赫兹波的几个基本问题 袁明文 ( 中国电子科技集团公司第十三研究所 专用集成电路国家 重点实验室, 石家庄 0500 51) : 介绍了用于加工太赫兹波元件的微机械加工技术 ( 铣削放电加工电铸湿法腐蚀Si 干法腐蚀Si厚光刻胶: SU - 8 和LIGA) 及其最新结果重点描述了应用于太赫兹波的器件和 集成电路, 如将可用于太赫兹波的各种新颖二极管半导体纳米器件新的高电子迁移率晶体 管毫米波集成电路量子器件红外器件量子 联激光器 ( 单极 间跃迁激光器) 基于带 间跃迁量子机理的半导体器件 ( 譬如量子 联激光器) 的频率极限高于与半导体能带隙相关器件 的频率, 其大多数体半导体的频率可以达到10 T Hz 以上但是, 基于经典的电子扩散传输机理