- 1、本文档共69页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
目 录
摘 要..................................................1
ABSTRACl-……………........……………....……..2
第一章前言..............................................3
§1.1课题背景一半导体制造业的发展…………………………………….3
§1.2研究目的一开发并优化新工艺的意义……………………………….5
§1.3论文结构…………………………………………………………………6
第二章干法刻蚀回顾......................................7
§2.1干法刻蚀原理………………………………………………………….7
§2.2侧壁(Spacer)在工艺流程中的作用……………………………….15
第三章半导体中实验设计(DOE)方法………………….16
§3.1实验设计(DOE)的原理和方法……………………………………..16
§3.2实验检测工具和分析工具……………………………………………16
第四章O.18微米侧壁(Spacer)刻蚀工艺的开发和优化.……..19
§4.1 O.18微米侧壁(Spacer)工艺概述……………………………………19
§4.2 0.18微米侧壁(Spacer)现有工艺存在的问题…………………….19
§4.3在DPSPlus设备上的工艺优化………………………………………..22
§4.3.1使用新工艺气体SF6进行工艺开发………………………….22
§4.3.2改变硅片背面氦气压力进行工艺优化………………………~38
§4.3.3改变工艺气体CF4的组成进行工艺优化……………………..42
第五章结论……………………………….……..63
参考文献…………………………………………66
致谢……………………………………………67
摘 要
本论文开发并优化了0.18微米技术侧壁(Spacer)的干法刻蚀工艺,通过利
用公司现有设备,改进原工艺不足,开发出满足产品要求的刻蚀工艺。
本论文根据0.18微米技术侧壁(Spacer)工艺在栅极密集区域,栅极底部有
斜坡的缺陷,指出了现有设备和工艺所遇到的一些问题,然后针对所面临的主要
问题,即因为刻蚀速率选择比不够高而造成对栅极上方氧化膜的过刻蚀,同时,
刻蚀速率均匀性偏低,造成中心区域Spacer形状过于倾斜,线宽过小的问题。
作了下面3方面的改良。
首先通过更换原刻蚀设备DPS,使用DPSplus(DPSplusEtDPS多出3路工艺气
体管路),从而可以增加新的刻蚀气体SF6,提高刻蚀速率选择比和刻蚀速率均匀
性,改善Spacer的形状及线宽,但是没能将Spacer栅极上方残余的氮化硅去除。
然后通过改变干法刻蚀中背面氦气压力,进一步提高刻蚀速率均匀性,并观
察残余二氧化硅的厚度及其分布,但是,中心区域的栅极上方仍有氮化硅残余。
最后利用现有的工艺气体CF4,通过调节主要刻蚀气体(CF。和CHF。)的组成
比例来调试刻蚀程序,并在主刻蚀(ME)和过刻蚀(OE)时分步调试,进一步提
高刻蚀速率均匀性和刻蚀速率选择比,完全去除了氮化硅残余。根据DOE实验数
据还定义出了在DPSplus设备上Spacer亥[J蚀的工艺窗口边界。我们通过电特性测
试结果证明了新工艺开发的成功。
关键词:干法刻蚀;侧壁(Spacer):刻蚀速率选择比:背面氦气;
刻蚀速率均匀性;主刻蚀;过刻蚀
中图分类号:TN4
Abstract
0.18urn
focusesonthe of for
Thisthesis areetchingprocess
mainly development
您可能关注的文档
- %90镰刀菌烯醇和多组分真菌毒素污染状况.pdf
- (12-13)1位二进制全加器VHDL设计.ppt
- (第2篇 ARM微处理器硬件结构)第5 6节.ppt
- (第2篇 ARM微处理器硬件结构)第7 8节.ppt
- 安防监控系统安装与调控技巧.docx
- 安全背包公钥密码的要点与设计.doc
- (二)VHDL语言程序基本结构.ppt
- (冀教版)六年级数学下册课件 中位数及众数.ppt
- (硼与水补给系统).pdf
- (苏教版)六年级数学下册课件 中位数与众数.ppt
- 浙江省临海市白云高级中学2025届高三历史3月月考试题.doc
- 云南拾谷县第一中学2024_2025学年高二物理上学期10月月考试题.doc
- 2025版高考生物总复习第13讲基因的分离定律教案苏教版.doc
- 湖北省黄石实验高中2024_2025学年高一历史下学期期末考试模拟卷.doc
- 通史版2025版高考历史大一轮复习专题七近代化的曲折发展__中日甲午战争至五四运动前4第4讲从维新思想到新文化运动课后达标检测含解析新人教版.doc
- 2024年高考数学考试大纲解读专题04导数及其应用含解析文.doc
- 河南省许汝平九校联盟2024_2025学年高一语文上学期期末考试试题扫描版无答案.doc
- 江西省吉安市吉水县第二中学2024_2025学年高一历史上学期第二次月考试题.doc
- 北京市平谷区2025届高三政治一模考试试题含解析.doc
- 2025届中考物理第四讲物态变化专项复习测试无答案新人教版.docx
最近下载
- 2023年重庆市卫生专业技术职务任职资格申报、评审条件.docx
- 《荷花淀》(同步课件)-2024-2025学年高二语文精品课堂(统编版选择性必修中册).pptx VIP
- 《马克思主义哲学》全套PPT课件.ppt
- 《孙子兵法》赏析说课讲解.doc
- ESD术患者的护理查房课件.pptx VIP
- 琵琶 琵琶二重奏《彝族舞曲》 琵琶二重奏《彝族舞曲》.docx
- 优质双低油菜籽种植示范基地建设项目可行性实施报告.docx
- (正式版)SH∕T 3006-2024 石油化工控制室设计规范.pdf VIP
- GB50608-2020 纤维增强复合材料工程应用技术标准.pdf
- 2024年医院高级职称评审单位评分细则方案.pdf
文档评论(0)