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【2017年整理】六-微执行器
微机电系统;第6章 微执行器;第一部分 微执行器的致动方式与材料;压电效应与逆压电效应，与电致伸缩原理区别; 工作原理：磁场作用下，长度、应力、弹性模量与声传播速度均会发生变化; 工作原理：液体+长聚合物分子组成的网状结构。当凝胶与溶解物化合时，体积膨胀变大，而当溶解物再次被释放出来时，凝胶的体积收缩变小。 ; 工作原理
外加电场下，介电胶体粒子极化并沿电场方向呈链状排列，从而使其流变特性剧烈变化，如粘性、塑性、弹性。 ; 作为微执行器的特点; 作为微执行器的特点;元件间热膨胀系数失配，金属的热膨胀系数远大于硅; 工作原理：拉力和温度诱发相变;特点; 单位体积有效能量W; 热微执行器能耗高
磁力执行器能耗很大，因需要大电流通过线圈，散热问题需要认真解决
电和磁微执行器能耗低，静电微执行器能耗最低;第二部分 典型微执行器——微马???;分析方法：左手法则;二、静电型微马达; ;1、静电力驱动变电容式步进微马达;步辐分析;减摩技巧 ;工艺步骤 ;2、静电力驱动变电容式同步微马达 ;工艺步骤 ;3、静电力驱动谐波式微马达 ;特点 ;4、电悬浮减摩措施 ;三、微行星齿轮减速器 ;X射线掩模板的加工
X射线深层光刻和微电铸
微复制;第三部分 典型微执行器——微泵/微阀;1、微阀; 整流特性;2、微泵膜片致动方式;压电致动膜片式 ;双金属膜片热致动式;记忆合金制动式;TiNi合金膜片制作工艺;热—气制动式;3、无阀微泵 ;工作原理;推导排量、效率;3、推导吸入、排出阶段的出口流量 ; ;扩散管/喷管的理论分析 ;实际形状的设计;第四部分 典型微执行器 ——梳状微谐振器 ;结构与制作工艺;驱动力的计算;谐振频率计算;本章重点难点;本章学习要求
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