非晶碳类薄膜的多层结构设计及其机械性能的研究.pdfVIP

摘 要 本论文主要制备了软硬交替沉积的DLC 多层薄膜和nc-TiC/a-C:H 纳米复合单层和 多层薄膜，通过改变多层结构的调制周期和调制层软硬匹配，考察了其对碳基多层薄膜 的微观结构和机械性能的影响。 （1）采用磁控溅射的方法，通过控制沉积偏压改变调制层的模量和应力比制备了 软硬交替沉积的 DLC 多层薄膜，并考察了调制层的改变对薄膜的硬度、韧性以及干摩 擦和水环境下摩擦性能的影响。DLC 多层薄膜的硬度并没出现多层强化效应，薄膜的韧 性在-120/-160V 时达到最大，相当于单层薄膜的两倍。和多层块体材料中断裂韧性与层 间模量比之间的规律相反，薄膜的韧性与调制层的模量以及应力比成反比例。主要原因 是低模量差距较小时，减弱了硬层的应力集中，避免了裂纹的萌生。不论在空气中还是 水环境下多层薄膜的磨损率均只有单层薄膜的一半。对于多层薄膜来说，高的抗磨损率 性和高的韧性是保持一致的，说明了薄膜韧性（包括裂纹的萌生和扩展）相比于只包括 裂纹扩展的断裂韧性更适合评价薄膜的机械性能。 （2 ）采用磁过滤阴极弧等离子沉积技术制备了nc-TiC/a-C:H 纳米复合薄膜，通过 控制通入的C H 和Ar 气的流量比改变薄膜的微观结构和机械性能。薄膜是由TiC 的纳 2 2 米晶和a-C:H 非晶相组成，增加C H /Ar 的流量比例，薄膜中的C 含量增加，TiC 的晶 2 2 粒尺寸降低，薄膜中的sp3 含量降低。当C H /Ar 流量比为12 时，薄膜的硬度最大30GPa， 2 2 薄膜的摩擦学性能和硬度并没有直接的关系，仅与薄膜中的sp2 含量有关，高含量的sp2 有利于在摩擦过程中出现转移膜。随着C H /Ar 增加，薄膜的内应力降低，膜基结合力 2 2 得到相应的提高。 （3 ）采用磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备了软硬交替沉积的nc-TiC/a-C:H 多 层薄膜，并考察了调制周期和软硬层匹配对薄膜结构和力学性能的影响。结果发现固定 软硬层匹配，仅改变调制周期时，多层薄膜在调制层厚度为40nm 时薄膜的内应力最低， 调制周期过大或者过小都会导致内应力的升高。多层薄膜的磨损率随着调制周期的增加 呈现先减小后增大的趋势，当调制层厚度为40nm 时薄膜的磨损率最低。选择磨损率较 低的调制层厚度20 ，40 和60nm，仅改变软硬亚层的匹配，发现所沉积的薄膜不论在亚 层厚度为20nm,40 还是60nm，1-10/1-12 样品的磨损率始终最低。 I 关键词：碳基薄膜，多层薄膜，机械性能，摩擦学性能 II ABSTRACT (1) Alternate hard and soft diamond-like carbon (DLC) multilayer coatings with different modulus and stress ratio between adjacent sub-layers were prepared using magnetron sputtering by controlling deposition bias. The effect of modulus and stress ratio between adjacent sub-layers on the hardness, toughness and tribological properties under dry and water-lubricated sliding conditions were studied systematically.