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高质量LiGaO2晶体的提拉法生长及表征.pdf
37卷第3期 人 工 晶 体 学 报 v01．37
N。．3
OFSYNTHETICCRYSTALS
2008年6月 JOURNAL June，2008
-__JL
Cj
同质量LiGa02晶体的提拉法生长及表征
黄涛华1’2，周圣明1，滕浩1’2，林辉1”，王军1
(1．中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800；2．中国科学院研究生院，北京100039)
摘要：采用提拉法成功地生长了高质量的LiGaO：单晶体，生长过程中没有观察到挥发现象。通过四晶x射线衍
射、化学腐蚀、光学显微、透过光谱以及原子力显微镜对晶体的质量进行了表征。结果表明：晶体中无包裹物及气
泡，具有很高的质量，(001)面晶片的摇摆曲线半高宽仅为16．2
不同的腐蚀形貌，其位错密度均低于104／cm2；LiGaO：晶体的吸收边约为220nra；化学机械抛光后的晶片表面非常
x5
光滑，其均方根粗糙度仅为0．1nm(5Izrn2)。
．
关键词：提拉法；LiGa02；化学腐蚀；透过光谱；AFM
中图分类号：078 文献标识码：A
GrowthandCharacterizationof
HighQuality
LiGa02
CzochraiskiMethod
Crystalby
HUANG
Tao—hual”，ZHOUSheng．min91，TENGHa01”，LINHuil”，WANGJunl
Instituteof andFine of
(1．Shnghai Optics Mechanics，CllineseAcademySciences，Shanghai201800，China；
SchooloftheChinese of
2．Graduate AcademySciences，Beijing100039，China)
11
(Received21＆啤16e，2007，acceptedDecember2007)
was modifiedCzochralski therewagno
Abstract：High—qualityLiGa02crystalgrownby method，and
the was
volatilization characterized
duringcrystalgrowth．Thecrystal four—crystaldiffraction，
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