新型检测课件7-光电.pptVIP

·在光积分时间,各个光敏元曝光, 吸收光生电荷； ·曝光结束时,器件实行场转移,在一 瞬间内将原整场的光电图像迅速地转 移到存储器列阵中去,如图,将注脚为 的光敏元中的光生电荷, 分别转移到注脚相同的存储器单元中； ·此时光敏元开始第二次光积分,而存 储器列阵则将它里面存储的光生电荷 信息一行行地转移到读出移位寄存器； 第七章 §5 新型光电器件 1.电荷藕合器件(CCD) (4)面阵电荷耦合器件 场转移面阵电荷藕合器件结构图 ? 基本原理： 如图为 面阵. * 第七章 §5 新型光电器件 1.电荷藕合器件(CCD) (4)面阵电荷耦合器件 场转移面阵电荷藕合器件结构图 ·在高速时钟驱动下,读出移位寄存 器输出每行中各位的光生电荷信息. ·如第一次将 这一行信息 转移到读出移位寄存器,读出移位寄存 器立即将它们按 的次序有 规则地输出.接着再将转移过来的 这一行信息输出,直到 最后输出 的信息为止. ? 基本原理： 如图为 面阵. * ?目前,用CCD制成的光电传感器已用于检测工件的 直径、钢板的厚度、检查板材的表面质量、识别图形和 文字等.有的国家利用它识别文字的功能,把它作为计 算机的输入装置,来代替传统的光电穿孔输入机. 第七章 §5 新型光电器件 1.电荷藕合器件(CCD) (4)面阵电荷耦合器件 * 光电位置敏感器件(Position Sensitive Detector, 简称PSD)是一种对其感光面上入射光点位置敏感的器件, 也称为坐标光电池.即当光点在器件感光面的不同位置时, 就对应有一个不同的输出电信号. 第七章 §5 新型光电器件 2.光电位置敏感器件(PSD) (1)PSD的结构及基本原理 I N ? PSD一般为PIN结构. 其基本结构 是在硅板的底层表面以胶合方式制成 二片均匀的P和N电阻层, 在P和N电阻 层之间注入离子而产生I层,即本征层. 在P电阻层表面的两端各设置一输出极. * 第七章 §5 新型光电器件 2.光电位置敏感器件(PSD) (1)PSD的结构及基本原理 ? 基本原理：横向光电效应 当一束光从垂直与P的方向照射到PSD的I层时,就会产生 电子-空穴对,在PN电场的作用下,空穴进入P区,电子进入N区. 由于P区杂质浓度相对较高,空穴迅速沿P区表面向两侧扩散, 最终导致P层空穴横向(X方向)浓度梯度变化,这时同一层面上 不同位置呈现一定的电位差. ·PSD通常工作在 反向偏压状态. PSD的公共电极接正 电压,输出极A和B分 别接地. I N * ·PSD通常工作在 反向偏压状态. PSD的公共电极接正 电压,输出极A和B分 别接地. 第七章 §5 新型光电器件 2.光电位置敏感器件(PSD) (1)PSD的结构及基本原理 ? 基本原理： 横向光电效应当有光点照射在P点上时,流经公共电极的 光生电流I0与入射光强成正比,如果PSD表面电阻层(P层)是 均匀的,流经P层电极A和B的电流IA 、IB与光点到相应电极的 距离成反比. I0=IA+IB I N 将上面两式整理得: ·可看出光点坐标 值 与总电流无关,即它不受 光强变化的影响,给测量 带来极大的方便。 * ? PSD有两种：一维PSD和二维PSD。 一维PSD是用来测量光点在直线方向的运动位置(一维坐标), 二维PSD是用来测量光点在平面上的运动位置(二维坐标). 基本原理与一维PSD相似. 第七章 §5 新型光电器件 2.光电位置敏感器件(PSD) (1)PSD的结构及基本原理 ·一维PSD有一对信号电极,一个公共电极和一个感光面, 感光面是细长的矩形,也有少数是方形的. 一维PSD的等效电路 一维PSD的外形结构图 * 第七章 §5 新型光电器件 2.光电位置敏感器件(PSD) (1)PSD的结构及基本原理 二维PSD的外形结构图 二维PSD的外形等效电路 二维PSD的外形等效电路 ·二维PSD有两对相互垂直的信号电极,它的感光面是方形的. ·二维PSD按信号电极的差别又有两种形式. 一种是相互垂直的两对信号电极在同一平面上.信号总 电流I0被 和 两对信号电极分解,每一对电极的信号分解 原理和前面所述的一样. 另一种是相互垂直的两对信号电极分别在正反两表面上, 信号电流先由一个面上的一对 电极的两路输入电流汇合,然 后被另一面上的一对 电极分解为两路输出电流. * (2)PSD的主要特性 ? 响应速度 PSD光电转换的响应速度与输出电阻及结电容的乘积 成反比,因此,需要高速响应工作时,应选用极间电阻小的 P