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无机材料制备新技术
* 单位体积中所含粒子的个数。 等离子体中只有一价正离子时,它含有的电子和正离子浓度是相等的,可用等离子体浓度描述等离子体。 当等离子体中存在多价正离子时,电子浓度大于正离子浓度,分别用电子浓度和正离子浓度表征等离子体。 等离子体浓度决定了等离子体的电学性质(电导率),活性激发粒子浓度决定了等离子体的化学性质。 由于各种活性激发源于电子的非弹性碰撞,因此必须对等离子体中的电子浓度进行研究。 等离子体的特性 ——等离子体浓度(密度) * 等离子体的特性 ——等离子体的电离度 ?为等离子体中气体的电离程度,等于已电离的粒子数和电离前粒子数之比: (1)充分电离, ??1;弱电离, ?为很小分数。 (2)?随温度增加而增加,随压力增加而减小。 * 粒子所带正电荷的总量等于粒子所带负电荷的总量,所以宏观地看,等离子体几乎保持电中性。 在微观上,由于粒子的热运动,在一定的空间范围内(德拜球)会出现正负电荷的分离,这一空间的尺度称为德拜长度?D,是等离子体保持电中性的最小空间尺度。 等离子体的特性 ——电中性和德拜长度 * * 在德拜球内,由热运动造成的正、负电荷的分离是动态的,而非静态。 出现分离后,由于电子和离子之间的静电引力作用又会使这种分离出现强烈的恢复电中性的趋势,导致?D尺度内出现电荷分离——恢复电中性——电荷分离的往复振荡。 等离子体的特性 ——等离子体的振荡和频率 * 由于离子的质量远大于电子,可认为这种电荷分离或振荡是电子相对离子的一种往复运动。 分离时,电子离开离子,产生静电场,当由于静电场的作用电子相对离子往回运动时,在电场作用下不断加速,在惯性作用下,会超越平衡位置造成反方向的电荷分离,又产生相反方向的电场,使电子再次向平衡位置运动,这个过程不断重复形成了等离子体内部电子的集体振荡。 * 如果将等离子体放在固体壁构成的容器中,或把固体(电极、加料器等)浸入等离子体,则在等离子体与固体交界处,等离子体不是直接与器壁接触,而是形成一个不发光带负电荷的薄层暗区,称为等离子体鞘。 等离子体的特性 ——等离子体鞘 * 由于等离子体是由荷电粒子组分的,且带电粒子的浓度很大,一般为1010~1015cm-3,因此等离子体具有很强的导电性,可用于磁场控制它的行为和运动。 等离子体的特性 ——等离子的导电性和磁控性 * 等离子体化学 等离子体中含有高能量的电子、离子和其他高能粒子(处于激发态的分子、原子),它们可使其他反应物活化(如电离或生成自由基),本身也可作为反应物参与反应。 等离子体化学:利用热力学效应和动力学效应,产生常规条件下难以发生的各种类型的化学反应,进行材料制备或加工处理。 * 电子参与的反应 * 其他荷能粒子参与的反应 * * 等离子体技术在无机材料制备中的应用 超微粉体:由弧光放电形成的热等离子体,温度高,流速快,径向和轴向存在很大的温度梯度,不但能使其中的反应物在高温下迅速发生反应,而且还能使反应产物急剧冷却,使之来不及长大而成为超微粉体。制备氧化物、氮化物和多种碳化物超微粉体材料。 * 等离子体化学气相沉积(PCVD):使CVD中的原料气体成为等离子体状态,变成化学上非常活泼的激发分子、原子、离子和原子团等,促进化学反应。 特点:利用低压非平衡等离子体电子温度高、等离子体(气体)温度低的特点,实现低温制膜,热损失少,在非耐热性基片上成膜。 制备Si3N4,非晶半导体,光导纤维,超硬膜,装饰镀膜等。 * 激光技术 ——激光的产生 * 激光技术 ——激光的产生 受激吸收:一个处于低能级E1的原子(或分子、离子),当其受到能量为E=E2-E1=h?,频率为?的入射光照射时,该粒子会吸收一个光子跃迁到高能级E2(激发态)。 自发发射:处于激发态的原子不稳定,停留时间约10-8s,就会自发地返回到能量较低的E1能级,并发射出能量为E=E2-E1=h?的光子。 * 受激发射:处在激发态E2的原子,如果在它自发发射之前,受到同样是E=E2-E1=h?光的照射,由于该光子的刺激,这个原子也会从能级E2跃迁到低能级E1,并发射一个与外来光子同频率、同相位、同方向、同偏振态的光子。可使入射光的强度大为增强,由一个入射光子受激发射一个光子,变成两个光子。 激光:如果处于激发态E2的粒子数足够多,这两个光子又可使处于E2能级的原子产生受激发射,产生更多光子,这种受激放大的光称为激光。 * 激光技术 ——激光的特点 单向性 方向完全一致的轴向光 单色性 具有超高光强度 产生几万度乃至几百 万度以上的高温。 * 激光在材料领域的应用 (1)激光用于材料表面改性 激光对材料的作用
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