5电容式传感器学生分析.ppt

* * 当差动电容C1 = C2 = C0, 即d1 = d2 = d0时, uAB = 0; 若C1≠ C2, 假设C1 C2, 即d1 =d0 -Δd, d2 = d0+Δd, 则 Ur为参考电压，把平行板电容的公式代入, 在变极板距离的情况下可得 modulator circle of pulse length * * 作业 P99 5-4, 5-5 homework * * 五、应用 1.电容压力传感器 当压力P1、P2变化时，膜片3和金属层2组成差动电容发生变化，且与压差△p＝P1-P2成正比。 application * * 2.电容转速传感器结构 1-齿轮 2-定极板 3-电容传感器及测量电路 4-频率计 电容传感器产生周期电信号，经测量电路转换成脉冲信号，用频率计显示齿轮转速。 * * 3.CS-LAS系列加速度传感器 该加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面MEMS多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构，并提供一个克服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央板形成的差动电容器机构，测量量比例于加速度的多硅结构的偏转，从而产生电压输出信号。 * * 差动式电容加速度传感器结构图 1-固定电极 2-绝缘垫 3-质量块 4-弹簧 5-输出端 6-壳体 a * * 当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时, 质量块在惯性空间中相对静止, 而两个固定电极将相对质量块在垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的间隙发生变化, 一个增加, 一个减小, 从而使C1、 C2产生大小相等、符号相反的增量, 此增量正比于被测加速度。  电容式加速度传感器的主要特点是频率响应快和量程范围大, 大多采用空气或其它气体作阻尼物质。 * * ⒋电容式料位传感器 测定电极安装在罐的顶部, 这样在罐壁和测定电极之间就形成了一个电容器。 电容式料位传感器结构图 * * 当罐内放入被测物料时, 由于被测物料介电常数的影响, 传感器的电容量将发生变化, 电容量变化的大小与被测物料在罐内高度成比例变化。检测出这种电容量的变化就可测定物料在罐内的高度。 式中: k——比例常数;  εs——被测物料的相对介电常数; ε0——空气的相对介电常数; D——储罐的内径;  d——测定电极的直径;  h——被测物料的高度。 传感器的静电电容可表示： * * 假定罐内没有物料时的传感器静电电容为C0, 放入物料后传感器静电电容为C1, 则两者电容差为： ΔC = C1 - C0  两种介质常数差别越大, 极径D与d相差愈小, 传感器灵敏度就愈高。 三种类型电容传感器的比较? summary? 1）空气介质变极距型 量程：适用于微位移的测量 灵敏度: (5-4) 线性度：非线性 小结 * * 3) 变介质型电容传感器 量程：适应于测量微位移、湿度、厚度… 灵敏度 ： (5-12) 线性度：线性 2) 变面积型电容传感器 量程：适用于测量较大的直线位移 灵敏度： (5-7) 线性度：线性 * * * 第5章 电容式传感器 把被测参量转换为 电容变化的传感器 工作原理 测量电路 ☆ ☆ ☆ ☆ ☆ capacitance 今日要点 ※ 工作原理及结构类型 1、变极距型电容传感器 2、变面积型电容传感器 3、变介质型电容传感器 4、等效电路 ※ 测量电路 ※ 应用 调频电路 运算放大器式电路 二极管双T型交流电桥 脉冲宽度调制电路 ☆ ☆ ☆ * * 第五章 电容式传感器 将被测量的变化转化为电容量变化的一种传感器。 5.5.1 基本原理与结构类型 一、基本原理 平行平面型电容 d S ε 结构图 S—两个极板相互覆盖的面积 d—两个极板间的距离 e — 板间介质的介电常数 Principle * * 当