真空泵选型方法.docVIP

真空泵选型方法 选用真空泵时，需要注意下列事项： ? ? 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。?? ? 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于110-5mmHg为好。?? ??3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。?? ??4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。?? ? 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。?? ? 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。?? ??7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。?? ? 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。?? ??9、真空泵的价格、运转及维修费用。?水环式真空泵的选择?一、泵类型的确定　　泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。?　　泵工作时，需要注意以下两个方面：?尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。?二、根据系统所需的气量选择真空泵?　　初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页　真空计算公式。?　　面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型 ? ? 真空泵一览表 型 号 抽气速率 L/s 极限真空Pa 配用功率kW 旋片真空泵 2X(Z)型旋片式真空泵 0.5～70 6? 10-2 0.55～5.5 XD、X单级旋片真空泵 2.8～150 2? 10-2 0.37～15 X型单级旋片真空泵 30～150 6 4～11 往复真空泵 W型往复真空泵 32～300 2000 4～30 55～600 5.5～45 罗茨真空泵 ZJ型罗茨真空泵 30～5000 5? 10-2 0.75～55 70～3000 1.1～30 滑阀真空泵 H型滑阀真空泵 8～600 1 1.1～55 70～600 7.5～55 2H型滑阀真空泵 8～150 0.1 4～15 　 　 液环真空泵 2BE1、CBF水环式真空泵 2～450 m3/min 3.3?? 103 7.5～710 2BE1型双级水环式真空泵 5～320 m3/min 11～380 2BV 型水环式真空泵 0.3～8.3 m3/min 0.81～15 2SK型双级水环式真空泵 0.4～30 m3/min 3.5? 103 2.2～55 S、SK型水环式真空泵 0.67～25 m3/min (3.5～4)? 103 1.5～55 SK型水环式真空泵 0.4～120 m3