氮化铝粉末制中的热力学分析_丘泰.pdfVIP

2　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 18 [4] 。AlN , N2 (0.05～0.15 MPa),, N 0. 2 1MPa。 2　AlN 2.1　AlN Al2O3 1500～1900 ℃,AlN 3 : Al O +3C+N ※2AlN+3CO (1) 2 3 2 Al O +3/2C+N ※2AlN+3/2CO (2) 2 3 2 2 Al O +N ※2AlN+3/2O (3)