微扰法在衍射光栅分析中的应用.pdfVIP

第９期 电　　子　　学　　报 Ｖｏｌ．４４　Ｎｏ．９ ２０１６ 年９ 月 ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｓｅｐ．　２０１６ 微扰法在衍射光栅分析中的应用 范丽晶，陈树强，燕宇杰，马　磊 （电子科技大学物理电子学院，四川成都６１００５４） 　　摘　要：　在微电子结构中常见的二维衍射光栅的分析中，严格耦合波分析法（ＲｉｇｏｒｏｕｓＣｏｕｐｌｅｄＷａｖｅＡｎａｌｙｓｉｓ， ＲＣＷＡ）方法计算耗时，占用内存比较大．本文将微扰法与 ＲＣＷＡ相结合的算法应用于二维衍射光栅分析中，以提高 其计算效率．求解非矩形光栅问题时，需将光栅做阶梯近似．通过ＲＣＷＡ求解参考层的本征值，其余层的本征值可通 过微扰法得到．实验表明，微扰法满足计算精度要求，且计算效率也能得到提高．对于本文中的例子，当光栅的截断阶 数选为１２ 时，计算时间可以节省４５％． 关键词：　光栅；微扰法；衍射；ＲＣＷＡ 中图分类号：　Ｏ４３８２　　　文献标识码：　Ａ　　　文章编号：　０３７２２１１２ （２０１６）０９２０４６０５ 电子学报ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｊｏｕｒｎａｌ．ｏｒｇ．ｃｎ　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．０３７２２１１２．２０１６．０９．００３ ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＰｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｉｎｔｈｅＡｎａｌｙｓｉｓｏｆ ＤｉｆｆｒａｃｔｉｏｎＧｒａｔｉｎｇｓ ＦＡＮＬｉｊｉｎｇ，ＣＨＥＮＳｈｕｑｉａｎｇ，ＹＡＮＹｕｊｉｅ，ＭＡＬｅｉ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃａｌＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａ，Ｃｈｅｎｇｄｕ，Ｓｉｃｈｕａｎ６１００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：　Ｉｎｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｇｒａｔｉｎｇｓ，ｒｉｇｏｒｏｕｓｃｏｕｐｌｅｄｗａｖｅａｎａｌｙｓｉｓ （ＲＣＷＡ）ｔａｋｅｓａ ｌｏｎｇｔｉｍｅａｎｄａｌａｒｇｅｃｏｍｐｕｔｅｒｍｅｍｏｒｙ．Ｔｈｅｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ （ＰＭ）ｉｓｃｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈＲＣＷＡｔｏｅｎｈａｎｃｅｉｔｓｃｏｍｐｕ ｔａｔｉｏｎａｌｓｐｅｅｄｆｏｒｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ．Ｉｎｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅｎｏｎｒｅｃｔａｎｇｕｌａｒｇｒａｔｉｎｇｓ，ｔｈｅｇｒａｔｉｎｇｉｓａｐ ｐｒｏｘｉｍａｔｅｄｂｙａｓｔａｃｋｏｆｌａｍｅｌｌａｒｇｒａｔｉｎｇｓ．ＷｅｏｂｔａｉｎｔｈｅｅｉｇｅｎｖａｌｕｅｓｏｆｔｈｅｒｅｆｅｒｅｎｃｅｌａｙｅｒｓｂｙＲＣＷＡｆｉｒｓｔｌｙ，ａｎｄｔｈｅｎ ｇｅｔｔｈｅｅｉｇｅｎｖａｌｕｅｓｏｆｔｈｅｒｅｓｔｌａｙｅｒｓｂｙＰＭ．ＩｔｓｈｏｗｓｔｈａｔＰＭｃａｎｓｈｏｒｔｅｎｔｈｅｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙａｔｔｈｅｂａｓｉｓｏｆａｃｈｉｅ ｖｉｎｇ ｔｈｅ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ ａｃｃｕｒａｃｙ．Ｆｏｒ ｔｈｅ ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｅｘａｍｐｌｅ，ｗｈｅｎ ｔｈｅ ｔｒｕｎｃａｔｉｏｎ ｏｒｄｅｒ ｉｓ １２，ｔｈｅ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ ｔｉｍｅ ｓａｖｅｓ４５％． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：　ｇｒａｔｉｎｇｓ；ｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ；ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ；ＲＣＷＡ 层衍射光栅结构．后又被广泛应用于分析二维光栅结 １　引言 构．但是ＲＣＷＡ也存在一定问题，尤其是在二维光栅的 　　在半导体测量技术中，散射度量术是比较常用的 分析中，占用的内存比较大，且计算效率很低． 方法之