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X-Ray机器测量Void方法 GEM (Hefei ) process Engineering Department 2009/04/09 Tizhi. Zhou Milly.Li 盟煮乙铁舞狠翘呈融盈渺绩偶态镑棠庙嘛燃眠目培牛竿赃爵瞩吾刁街匈振X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 GEM (Hefei ) process Engineering Department 正确放入L/F 将L/F平行放置工作台边缘，如果摆放不平行将会出现如图2所示导致测量数据不准确。 图1 图2 枢锅瓮赶涌窥唬葵弦蓉贷希胶氟翘郧汪掌晨卵倡穿女恿样武遗裴拥窍还陨X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 GEM (Hefei ) process Engineering Department 手动调节灯光对比度 选中待侧的产品，点击Manual手动调节至黑白分明，以便准确的判定有无空洞。 利钙楚姨博谩意貌筐摧坛怕竟尿望癸羔俗瘴吼布申佑殉颓瓷豆檀礼差谩瞳X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 选中待侧芯片 GEM (Hefei ) process Engineering Department 点击VC-Moduled 点击Run 准确的选中要测量的Die左上角与右下角。 屏幕左上角出现选中Die的尺寸，使其与实际产品尺寸吻合。（如下图） Die的尺寸 搀堕追丫炊十很叛撤噶彭霖碴隋著仰苦绒铀眠靴襄冠佬巾秘抠几抡檀篇静X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 调节光感度 GEM (Hefei ) process Engineering Department 选中测量的芯片后点确认出现如图1所视界面，调节左边标视的滚动条使空洞部分程白色，其余部分完全成黑色。（由于现在该机器故障，无法调节至以上所述状态。只能调节至图2（比实际值小）、图3（比实际值大）两中状态。）建议调节至图3所示状态。 图1 图2 图3 跨呜绑绍卧南扁剿颈凯凉拈久缚突充速较扬锰夫佯稠歌父涯潭维哈皋司油X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 记录空洞数值 GEM (Hefei ) process Engineering Department 选择正确光感度后点确认，机器计算出空洞数值如图所示。（由于机器原因图中显示的只有红色区域的3.2%与2.5%为实际的空洞值）所以该颗产品的总空洞值为5.7%（3.2%+2.5%），而非机器所计算的8.5%。 剥檀渠掺寇页敬比遵霉曙韧护呜凿撞稚琳废鞍愉刨怖苟捉娶励潮靖杂固综X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 空洞控制要求 GEM (Hefei ) process Engineering Department 旦铅呵泼辫椰钡忿裴披皆首洁棉泛悟李刹容减抄匪碰俗而洒郭刨立拓怎烽X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法 THE END THANKS GEM (Hefei ) process Engineering Department 领猩抉纫锁种肋苏妒次龄疤讯吼蕊向琢阑瓣缆删穗翰酥嫁亩钙卞狭黔乳择X-ray机测量Void方法X-ray机测量Void方法