微驱动器的发展和研究应用-ok.docVIP

江 西 理 工 大 学 南 昌 校 区 毕 业 设 计（论文） 题 目：微驱动器的发展和研究应用 系 ：机电工程系 专 业：机电一体化技术 班 级：08级机电三班 学 生：张小营 学 号指导教师：刘德生 职称：中级 摘 要 微电子机械系统 ( Micro Electro Mechanical Systems, 简称 MEMS ) 是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术, 微驱动器是 MEMS的重要组成部分。首先阐述了几种驱动原理：电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金驱动、热驱动等及其当前研究成果，接下来介绍几种新型驱动：机械化学驱动、 渗透驱动、生物能源驱动、仿生驱动、光致伸缩驱动。总结了常用微驱动器的驱动方式及特征及其分类应用。概括了微驱动器的研究现状，提出了目前研究中存在的主要问题,在此基础上简要分析了微驱动器的发展前景。 关键词：微驱动器；微电子机械系统(MEMS)；驱动原理；驱动方式 ABSTRACT MEMS (Micro Electro Mechanical Systems, referred to as MEMS) technology in the microelectronics the rise of a based on the application of technology, micro-drive is an important part of MEMS. Several driving principles first expounded: electromagnetic drive, electrostatic actuation, piezoelectric actuator, shape memory alloy driver, hot drive so its current research, then introduces several new types of drive: mechanical and chemical drive, infiltration driven, bio-energy drive Bionic drive, light-induced expansion drive. Summarizes the common micro-drive and the drive characteristics and classification applications. Summarizes the research of micro drives the present situation of the current study, the main problems, on this basis, a brief analysis of prospects for the development of micro drives. Key words：Micro actuators；Micro electro mechanical systems(MEMS)；Actuating principle；Actuating modes I Abstract II 目 录 III 第一章 绪 论 1 第二章 微驱动器的驱动原理 2 2.1 电磁驱动 2 2.2 静电驱动 3 2.3 压电驱动 3 2.4 形状记忆合金驱动 4 2.5 热力驱动 4 2.6 机械化学驱动 6 2.7 渗透驱动 6 2.8 生物能源驱动（仿生驱动略和光致伸缩驱动） 7 第三章 微驱动器的驱动方式 8 3.1 直接驱动方式 8 3.2 位移放大方式 8 3.3 其它方式 8 第四章 微驱动器的分类应用 9 4.1 悬臂梁微驱动器 9 4.2 尺蠖型马达 9 4.3 微型泵 9 4.4 微夹具 9 4.5 微镜 10 第五章 微驱动器的研究现状 11 第六章 存在的问题 16 6.1 材料问题 16 6.2 微小润滑问题 16 6.3 非线性控制问题 16 6.4 微机械加工工艺和封装 16 6.5 缺乏完善的性能检测手段 16 6.6 可靠性的分析和预测 16 第七章 发展前景 17 7.1 新材料的研制 17 7.2 新工艺技术的开发 17 7.3 CAD设计和模拟工具的研究和开发 17 第八章 结语 18 参考文献 19 致 谢 20第一章 绪 论 传统的驱动器(位移驱动器)包括液压缸、伺服(或步进)电机和音圈电机,它们可以产生毫米到厘米的位移量, 但是不能满足微米或更小范围的精密控制。随着微电子技术的飞速发展,使得制备微米尺度的微器件成为现实。微驱动器，或