全固体型エレクトロクロミック素子に関する研究.PDF

全固体型エレクトロクロミック素子に関する研究 丹羽達雄 第１章 序論 1-1 研究の背景 1 1-2 研究の目的 2 1-3 全固体型エレクトロクロミック 素子の概要 3 1-3-1 エレクトロクロミック素子 1-3-2 エレクトロクロミック層 1-3-3 電解質層 1-3-4 対向電極層 1-3-5 全固体型エレクトロクロミック層の構造 1-4 本論文の構成 8 第２章 固体電解質層としての酸化タンタル膜の特性 2-1 序章 21 2-2 酸化タンタル膜の作成方法及び評価方法 22 2-3 結果と考察 23 2-3-1 理論 2-3-2 RF スパッタリングによる酸化タンタル膜 2-3-3 RF イオンプレーティングによる酸化タンタル膜 2-4 結論 27 第３章 陽極酸化イリジウムを対向電極に用いた全固体型エレクトロクロミック素子の 特性 3-1 序章 38 3-2 全固体型エレクトロクロミック素子の作成及び評価方法 39 3-3 結果と考察 40 3-3-1 エレクトロクロミック素子の着色メカニズム 3-3-2 交流インピーダンス法による測定原理 3-3-3 エレクトロクロミック素子の特性 3-3-4 複素インピーダンス測定 3-3-5 エレクトロクロミック素子の自己補償特性 3-5 結論 51 第４章 対向電極としての酸化イリジウムと酸化スズの混合膜の特性 4-1 序章 70 4-2 酸化イリジウムと酸化スズの混合膜の作成 72 4-3 結果と考察 72 4-4 結論 76 第５章 酸化イリジウ