双频激光干涉仪.PDF

下载文档 降价啦

100
0
约30.36万字
约 91页
2017-06-14 发布于江苏
举报
版权申诉
保障服务

双频激光干涉仪.PDF

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

双频激光干涉仪

请以英文为准中文仅供参考双频激光干涉仪 ZLM 700 / 800 /900 Dual – Frequency Laser Interferometer 系统部件及附件 Components and Accessories 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司总代理网址：手机电话：021 传真：021 QQ：909524716 采用卡尔蔡司光学元件德国耶拿尔测量技术有限公司制造 ZLM 700 / 800 / 900 目录 Contents 基本信息/ System information A 技术参数/ Performance data AE950 A-1 ZLM700 激光干涉仪系统/ System summary ZLM700 A-4 ZLM800 激光干涉仪系统/ System summary ZLM800 A-5 ZLM900 LSI 激光干涉仪系统/ System summary ZLM900 LSI A-6 ZLM900 LSI 3D 激光干涉仪系统概/ System summary ZLM900 LSI 3D A-7 系统构成/ System versions B 构成各系统的光学镜组件/ Choice of possible system versions B-1 光学镜模块/ Optical modules C 标准模块/ Standard modules C-1 90°光束转向镜/ 90° beam bender C-2 分光镜/ Beam splitter C-3 反射镜/ Reflectors C-4 直线度测量的光学模块/ Optical modules for straightness measurement C-5 垂直度测量的光学模块/ Optical modules for squareness measurement C-7 位移测量的光学模块/ Modules for distance measurement C-8 角度和平面度测量的光学模块/ Modules for angle and flatness measurement C-9 振动测量的光学模块 / Modules for vibration measurement C-11 测量120m 长度的光学模块 / Modules for distance measurement up to 390f C-12 使用小反射镜来测量距离的附件/ Accessories for distance measurement with small reflector C-13 空间倾斜度测量的光学模块/ Measuring of the space slant C-14 平行式干涉镜/ Parallel interferometer C-15 八倍光路干涉镜的光学模块/ Optic modules for 8fold interferometer C-16 带光阀308 的平行式平面干涉镜301/ Parallel plane mirror interferometer 301 with lightvalve 308 C-17 单光束干涉镜 / Single beam interferometer