双频激光干涉仪.PDF

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双频激光干涉仪

请以英文为准 中文仅供参考 双频激光干涉仪 ZLM 700 / 800 /900 Dual – Frequency Laser Interferometer 系统部件及附件 Components and Accessories 上海贝丁汉工业自动化设备有限公司总代理 网址: 手机 电话:021 传真:021 QQ:909524716 采用 卡尔蔡司 光学元件 德国耶拿尔测量技术有限公司制造 ZLM 700 / 800 / 900 目录 Contents 基本信息/ System information A 技术参数/ Performance data AE950 A-1 ZLM700 激光干涉仪系统/ System summary ZLM700 A-4 ZLM800 激光干涉仪系统/ System summary ZLM800 A-5 ZLM900 LSI 激光干涉仪系统/ System summary ZLM900 LSI A-6 ZLM900 LSI 3D 激光干涉仪系统概/ System summary ZLM900 LSI 3D A-7 系统构成/ System versions B 构成各系统的光学镜组件/ Choice of possible system versions B-1 光学镜模块/ Optical modules C 标准模块/ Standard modules C-1 90°光束转向镜/ 90° beam bender C-2 分光镜/ Beam splitter C-3 反射镜/ Reflectors C-4 直线度测量的光学模块/ Optical modules for straightness measurement C-5 垂直度测量的光学模块/ Optical modules for squareness measurement C-7 位移测量的光学模块/ Modules for distance measurement C-8 角度和平面度测量的光学模块/ Modules for angle and flatness measurement C-9 振动测量的光学模块 / Modules for vibration measurement C-11 测量120m 长度的光学模块 / Modules for distance measurement up to 390f C-12 使用小反射镜来测量距离的附件/ Accessories for distance measurement with small reflector C-13 空间倾斜度测量的光学模块/ Measuring of the space slant C-14 平行式干涉镜/ Parallel interferometer C-15 八倍光路干涉镜的光学模块/ Optic modules for 8fold interferometer C-16 带光阀308 的平行式平面干涉镜301/ Parallel plane mirror interferometer 301 with lightvalve 308 C-17 单光束干涉镜 / Single beam interferometer

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