密封设计导读重点讲义.doc

真空密封方式 前言 真空設備為了隔絕大氣，各零件管路或子系統間之連接處、電源訊號引入及機械運動之傳動、視窗、閘門等，且在真空系統中通常包含了各種不同形狀與材料之零組件，有時必須更換現有零件甚或使用時必須隨時開啓與關閉真空室，因此必須以各種封合方法加以接合。其密封品質是真空系統性能良窳之重要指標。使用真空封合材料考慮的因素包括：系統壓力、溫度、材料滲漏、材料逸氣、材料蒸氣壓及封合預壓等。正確的設計密封機構，並選擇適當的封合材料，始能達成預期的真空性能。 真空絕漏裝置之種類 真空絕漏通常可分為可拆卸封合和不可拆卸之永久封合，其中可拆卸封合又可分為靜態封合和動態封合。靜態封合是指連接之管路或腔體無相對運動之封合；動態封合是連接之零件間有相對運動的條件下所做的封合；永久封合則是泛指焊接。 1.可拆卸封合 O型環：為可拆卸封合最常使用的方式，截面通常為圓形，其以彈性體製成，常用的材質為Viton及NBR兩種，依環境溫度選擇較適用之材質。 規格及定義：O-ring之選用，需視其內徑及線徑是否適用。依其使用之場合分為以下之系列別。 P系列：運動用、固定用、油壓用。 G系列：固定用。 S系列：固定用。 V系列：真空用。 b.O型環之應用：圖示為靜態之O-ring封合，動態之O-ring封合見另文－ 廠內常用之真空引入。 c.O-ring溝之設計：槽的大小尺寸及形狀決定於O-ring所受的壓力，通常 O-ring的設計壓縮比多取10%到25%。一般來說我們設計的形狀多為方 形槽及鳩尾槽斷面的溝，其對O-ring的壓縮比均為25%，但在廠內實際 的設計上採用20%的壓縮比，不同之O-ring溝設計比較如下。 ※靜態之O-ring封合： O-ring溝型式 方型槽 鳩尾槽 斷面圖示 W：溝槽的寬度 D：溝槽的深度 d：O-ring的線徑 W：溝槽的寬度 D：溝槽的深度 d：O-ring的線徑 尺寸設計 1.D＝d×0.7 2.W＝d＋0.5 3.如W較小，W＝d或d＋0.1 1.D＝d×0.7 2.W＝d×0.95 3.如W較小，W＝d或d＋0.1 適用情況 適合用於水平安裝且無須常開關之處。 適合用於垂直的法蘭、須常開關之處或是從下側開啟的接頭。 優點 加工成本低。 防止O-ring脫落。 避免O-ring變形，以增加使用壽命。 缺點 若使用在垂直安裝、倒放或常開關、拆卸之處時，O-ing容易脫落。 其溝寬較O-ring線徑小，故圈裝入溝時須稍加力壓縮通過，且O-ring裝入後不易取出。 加工成本高。 說明：O-ring溝的內徑需與O-ring的實際內徑相合，O-ring的內徑不可過小， 將O-ring拉大套入的話會使真空密閉的效果不佳。通常O-ring的內徑 與O-ring溝的內徑緊密配合為最佳。但在某些特殊情況如方鍵用於垂 直法蘭則常採取稍大的溝內徑使O-ring套在其上而不易脫落。 O-ring溝底部應精密加工，不可有刮痕在溝中，至少均應有三個加工 符號。否則易因壓力差而漏入氣體影響真空度。 ※動態之O-ring封合 說明：(表一)為軸封時各尺寸之間的關係。 圖(a)：A為O-ring溝銑完後軸的最小直徑；B為軸的直徑。 圖(b)：A為軸的直徑；B為O-ring溝銑完後O-ring溝的最大直徑。 B-A：為B的長度與A的長度之差。 c.O-ring材質特性之比較 O-ring/Material O-ring /Viton O-ring /NBR Max. Temp. 150℃ 80℃ Max. Vacuum 10-9Torr 10-8Torr 耐酸鹼性 有 無 價格 高 低 d.使用O-ring之注意事項 ＊O-ring通常為規格品，設計或使用時必須考慮其既定尺寸大小。 若在規格品中未能選到適合之O-ring，，， b.規格及定義：依其結構可分成多種規格，在此僅討論廠內常用之系列。 S系列：嵌入彈簧，外包橡皮。 D系列：嵌入彈簧，外包橡皮，附防塵裝置。 DM系列：嵌入彈簧，外包金屬，附防塵裝置。 其中S及D系列適用於內外軸均須絕漏之場合。 1-3 U-Packing 特點：U-Packing溝槽之加工成本較O-ring溝低，且拆裝方便，適用於 直線運動。其耐真空度為10-7 torr， 例。 b.規格及定義：以U-Packing之內徑×外徑×厚度做為其尺寸之選用。 1-4無氧銅（OFHC） CF/CR之絕漏裝置「無氧銅」墊片，其作用方式乃以法蘭本身的「刀口」