膜系光谱系数对膜层参数的一阶和二阶偏导数的计算模型.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ １ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．１ 　 　 年 月 ， ２０１０ １ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊａｎ． ２０１０ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１００１００８３０８ 　 膜系光谱系数对膜层参数的一阶和二阶 偏导数的计算模型 吴素勇， 龙兴武， 黄 云， 杨开勇 　 　 　 　 （国防科学技术大学 光电科学与工程学院，长沙 ４１００７３） 摘 要： 为了寻找一种膜系深入分析与设计的有力辅助计算工具，从光学薄膜光谱系数的矩阵计算理论 　　 　 　 出发，基于对矩阵求迹运算的巧妙运用，从数学上建立了准确计算膜系光谱系数关于膜层几何厚度、实际折射 率和消光系数等膜层参数的一阶和二阶偏导数的解析模型。这一偏导数计算模型物理上与矩阵理论具有一致 的通用性和普适性，适用于任何各向同性的均匀膜系统。在数学上也严格成立，数值编程计算不存在差分近 似，精度达到了计算机浮点运算的极限精度。而且算法运算费时少，计算速度快，取得了高度准确性和便于实 时化的双重优越性能，非常有利于应用于膜系设计领域来提高膜层数较大时的设计速度和效率。同时，这一模 型能非常便捷和准确地给出膜系许多实用的导数信息，对膜系分析、测量和膜厚监控等领域中的相关应用具有 重要的参考意义。 关键词： 薄膜光学； 光谱系数导数计算模型； 矩阵法； 膜层参数 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４８４．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ００８３ 　　 　 　　　　 　 　　 膜系分析和设计在薄膜光学领域始终占有着重要地位。一般地，膜系分析是指给定光学薄膜的膜层结构 　　 ［ ］ ［ ］ １２ ３７ 和参数，通过一定的方法 ，计算出薄膜的光谱性质的过程。相反地，膜系设计是指采用一定的设计方法 ， 寻找一定膜层结构和参数的薄膜，使其光谱性质尽可能地逼近要求的目标光谱性能。在进行膜系分析的实践 中，发现仅仅计算薄膜的光谱系数的作用是十分有限的，经常需要更深入地分析膜层参数误差对膜系光谱性能 的影响，需要更准确地计算膜系光谱系数对膜层参数的导数信息，这对于分析膜系的稳定性和膜层灵敏度非常 ［］ ８ 有用 。在现代膜系设计中，对于许多基于膜系设计评价函数导数信息的局部优化方法，评价函数的梯度和 Ｈｅｓｓｅ矩阵的准确计算和快速实现，对于提高膜系设计的速度和效率起了决定性的作用，特别是在膜层数较大 ［ ］ 时的效果更为明显 ９１０ 。在薄膜参数反演测量中，薄膜光谱系数对膜材料的光学参数和几何厚度的导数信息