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第7章 压电式传感器7.1 压电式传感器7.2 压电式传感器测量电路 7.3压电式传感器的应用 1. 了解压电式传感器基本原理， 2. 熟悉压电式传感器的测量转换电路 3了解压电式传感器的应用 压电式传感器是利用某些电介质材料(如石英晶体)具有压电效应现象制成的。有些电介质材料在一定方向上受到外力(压力或拉力)作用而变形时，在其表面上产生电荷从而可以实现对非电量的检测。压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽等特点，适用于对各种动态力、机械冲击与振动的测量，广泛应用在力学、声学、医学、宇航等方面。 压电式传感器是一种无源传感器，大多数是利用正向压电效应制成的。外力去掉后，又回到不带电状态，这种将机械能转换成电能的现象，称为正向压电效应，简称压电效应。当然这种电介质材料也具有逆压电效应，即在相应表面上施加电压后，电介质材料会发生机械变形；去掉电压后，变形立即消失，它将电能转换成机械能。逆压 电效应也称电致伸缩效应。7.1 压电式传感器压电效应与压电材料 1. 压电效应 压电效应分为正向压电效应和逆向压电效应。某些电介质，当沿着一定方向对其施加外力而使它变形时，内部就产生极化现象，相应地会在它的两个表面上产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。当外力方向改变时，电荷的极性也随之改变，这种将机械能转换为电能的现象，称为正压电效应。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生一定的机械变形或机械应力，这种现象称为逆向压电效应，也称为电致伸缩效应。 2. 压电材料具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机-电能量的相互转换，具有一定的可逆性，如图4.71 所示压电材料可以分为三类：压电晶体、压电陶瓷和高分子压电材料。 压电材料常用晶体材料，但自然界中多数晶体压电效应非常微弱，很难满足实际检测的需要，因而没有实用价值。目前能够广泛使用的压电材料只有石英晶体和人工制造的压电陶瓷、钛酸钡、锆钛酸铅等材料，这些材料都具有良好的压电效应。 压电材料主要特性指标压电材料是压电式传感器的敏感材料，主要特性参数有： （1）压电系数d；（2）机械性能刚度H；（3）电性能介电常数ε电阻；（4）；（5）居里点① 压电系数d：它是衡量材料压电效应强弱的参数，一般应具有较大的压电系数。②机械性能刚度H：作为元件，通常希望其具有较高的机械强度和较大的刚度，以获得较宽的线性范围和较大的固有频率。 ③电性能：良好的压电材料应该具有大的介电常数和较高的电阻率，以减小电荷的泄漏，从而获得良好的低频特性。对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 ④机械耦合系数：是指在压电效应中，转换输出能量(如电能)与输入能量(如机械能)之比的平方根，这是衡量压电材料机-电能量转换效率的一个重要参数。 ⑤居里点温度：它是指压电材料开始丧失压电特性的温度。 ⑥时间稳定性：压电特性不应随时间蜕变。压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的正向压电效应制成。压电效应石英晶体是典型的压电晶体，化学式为SiO2，为单晶体结构。图4.72(a)所示的是天然结构的石英晶体外形示意图。它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的(各向异性体)，可以用三个相互垂直的轴来表示，其中纵向轴z称为光轴(或称为中性轴)，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为纵向压电效应，而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为横向压电效应。而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。 若从晶体上沿y方向切下一块如图4.72(c)所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，则在与电轴x垂直的平面上将产生电荷，其大小为qx =d11 Fx 式中d11——x方向受力的压电系数。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 由此可见，沿机械轴y方向施加作用力式中d12—y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性，有d12=-d11；a、b—晶体切片的长度和厚度，如图4.72(c)所示。 电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定如图6.3所示 2 压电陶瓷的压电效应 4.74(a)所示。加直流电场后，使极性转到接近电场的方向，当电场去掉后，电畴的极化方向基本保持不变。如图4.74(b)。 通常将压电陶瓷的极化方向定义为z轴，在垂直于z轴的平面上的任何直线都可以取作x轴或y轴，对于x轴或y轴，其压电效应是等效的，这是压电陶瓷与石英晶体不同的地方。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正向压电效应。电荷量的大小与外力成如下的正比关系：q=d33