基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计-中国机械工程.PDF

中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 22 4 2011 2 基于多目标遗传算法的硅微机械 电容式麦克风优化设计 董 健 王 伟 计时鸣 暋 暋 暋 暋 , , 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室 杭州 310014 : 。 摘要 介绍了一种基于多目标遗传算法的硅微机械电容式麦克风优化设计方法 以复合敏感膜参 、 , 、 、 数 底板参数以及敏感膜与底板间距为设计变量 麦克风灵敏度 最大工作电压 工作频率带宽为优化设 , 。 计目标 采用多目标遗传算法求出Pareto最优解集 在所求出的Pareto最优解集中选择一组最符合设 计要求的解作为麦克风的设计参数。 : ; ; ; 关键词 硅微机械电容式麦克风 多目标优化 遗传算法 Pareto最优解集 中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TP212暋暋暋 1004 132X201104 0394 04 O timalDesinofMicromachinedSiliconCondenser p g MicrohoneBasedonMulti-obectiveGeneticAlorithm p j g Don Jian暋Wan Wei暋JiShimin g g g TheKe Laborator ofSecialPuroseEuimentandAdvancedProcessin Technolo , y y p p q p g gy , , Zheian UniversitofTechnolo Hanzhou310014 j g y gy g : AbstractA new a roachtodesinmicromachinedcondensermicrohonebasedonmulti- pp g p obective eneticalorithm was roosed.The arametersofthesandwichdiahram andthe j g g p p p p g , backlateaswellasthesaceamon themasthedesinvariablesandthesensitivitandthe ull-in p p g g