反射型导模共振滤波器设计讲述.pdfVIP

第57卷第2期2008年2月 物 理学 报 1000-3290／2008／57(02)／0827．06ACTAPHYSICASINICA @2008 Chin．Plays．Soe． 反射型导模共振滤波器设计 麻健勇1’2’’ 刘世杰1’2’ 魏朝阳1’2’ 许 程1’2’ 晋云霞1’ 赵元安1’ 邵建达1’ 范正修1’ 1)(中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800) 2)(中国科学院研究生院，北京100039) (2007年4月14日收到；2007年5月23日收到修改稿) 导模共振滤波器由于其高峰值反射率，低旁带反射，窄带以及带宽可控等优良特性引起了人们极大的关注，采 用亚波长光栅的导模共振效应可以实现传统基于高低折射率介质的多层膜滤波器所无法实现的特殊功能，在弱调 制模式下，其共振带宽可以被压缩到零点几纳米，但是由于介质表面和空气层的菲涅耳反射，使得偏离或者远离共 振区时的反射率偏高，根据等效介质理论，亚波长光栅在远离共振区可以被看为均匀的薄膜，本文通过对导模共振 光栅进行单层、双层以及三层抗反射设计，有效的降低了导模共振光栅的旁带反射率，从而在可见光波段获得了性 能优良的共振滤波器． 关键词：导模共振，平面波导，傅里叶模式理论，窄带滤波 PACC：4110H，4225 本征方程获取共振峰的位置以及波导的关键参数， 1．引 言 然后采用矢量衍射理论——傅里叶模式理论‘卜7】 (FMM)严格求解共振峰的位置，从而获得宽广谱反 采用共振异常特性…的波导光栅具有独特的滤 射率曲线． 波特性，其工作原理是在光栅的共振波长处，波导所 支持的导模(泄漏模)与高级次的传播波发生强烈的 2．理论基础 耦合，从而在反射谱上出现一个急剧的跃变，即产生 一个共振峰，特别地，对于亚波长波导光栅可以实现 将光栅看作被调制的平面波导，采用波导理论 100％的反射或者透射，利用这一特性我们可以制作 分析光栅的衍射特性，从而近似预测导模共振光栅 各种高效的窄带滤波器或者光开关‘卜4]，但是如果 的共振峰位置．图1是多层周期性平面波导光栅，平 仅仅采用单层导模共振滤波器，由于覆盖层与波导 面波以与：轴口角入射，覆盖层和基底层的折射率 层折射率的不匹配将会导致在偏离或者远离共振区 分别为n。，，l。，并且有n。厅。，均为无限大各向同 域时仍然具有较高的反射率，这大大限制了导模共 性介质，该结构共有肘层，除一层为光栅层外，其余 振光栅在一些对旁带反射率要求较高领域的应用， 各层均为均匀膜层．并且该结构中至少有一层(可以 例如在强激光系统的应用． 为光栅层，也可以为均匀膜层)的折射率大于覆盖层 在偏离或者远离共振区时，波导光栅可以看作 和基底层的折射率．光栅层可被近似处理为一均匀 均匀的薄膜，因此可以将光栅的共振和薄膜的干涉 膜层，折射率为光栅层介质的等效折射率．根据文 结合起来，采用薄膜光学中广泛采用的抗反射设计 献[4]，对于．IE偏振的入射波，多层波导光栅的本 在不影响共振峰峰值反射的情况下，有效地降低旁 征方程为 带的反射率，从而设计出窄带，低旁带，线型对称的 共振滤波器．本文首先采用多层平面介质波导理论， P。A+P。P。B+C+P．D=0，(1) 将弱调制的光栅近似为平面波导，通过求解波导的 其中A，B，C，D分别为特征矩阵的四个分量