小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用.pdfVIP

Vo l. 24 No.12 光学精密工程 第 24 卷第12 期 Optics and Precision Engineering Dec.2016 2016 年 12 月 文章编号 1004-924X(2016) 12-2993-07 小形变变形镜的设计及其在低 像差脉冲压缩光栅中的应用 陈新荣，李朝明\王 丹，书晓茹，吴建宏 (苏州大学物理与光电·能源学部与苏州纳米科技协同创新中心 江苏省先进光学制造技术重点实验室教育部现代光学技术重点实验室，江苏苏州 215006) 摘要:考虑激光脉冲啸嗽放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差，设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口 径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响。该变形镜有效口径为 80 mm、厚度为 5 mm.包含 19 个 分立式压电促动器。采用干涉仪测量得到各个促动器的响应函数，构建了变形镜的刚度矩阵;采用最小二乘法求解出获 得目标面形时各个促动器上所需施加的控制电压;通过整体优化和局部优化的结合，使变形镜的目标面形得到了有效控 制。应用该变形镜构建了主动式全息光学记录系统，并选用具有较大像差的基板开展了光栅像差补偿实验。实验显示， 对残余像差为~o. 93λ 的基板，采用变形镜后制作出了残余波面 PV 可达 o. 14^(~ 633 nm) 的脉冲压缩光栅，验证了小 形变变形镜在光栅基底像差补偿上的有效性。 关 键 词:变形镜;全息光栅;脉冲压缩光栅z 压电促动器;响应函数;像差补偿 申固分类号:0439 ;0436 文献标识码:A doi: 10. 3788/0PE. 2993 Design of deformable mirror with small deformation and its application in pulse compression grating with low aberration CHEN Xin-ro吨， LI Chao-ming* , WANG Dan ,WEI Xiao-ru , WU Jian-hong (College of Physics ， 。ρtoelectronics and Energy Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology , Laboratory Key Laboratory of Advanced Optical Manufacturing Technologies of ] iangsu Province , Key Laboratory of Modern Optical Technologies of Education Ministry of China , Soochow University , Suzhou 215006 , China) 祷 Corresponding author .E-mail: chaoming@suda.edu.cn Abstract: To realize the low aberration of pulse compression gratings (PCGs) applied in chirped pulse amplification and compression , a Deformable Mirror (DM) with small deformation was designed and fabricated to compensate the sub-micron static wavefront aberration induced by a large diameter