原子运动速度对激光驻波场作用下纳米光栅沉积特性的影响鄢.PDFVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援远 渊圆园员员冤摇 园远猿圆园圆 原子运动速度对激光驻波场作用下 纳米光栅沉积特性的影响鄢 员冤 员冤覮 员冤 圆冤 张文涛 摇 朱保华 摇 熊显名 摇 黄摇 静 员冤渊桂林电子科技大学电子工程与自动化学院袁桂林摇 缘源员园园源冤 圆冤渊贵州民族学院科技处袁贵阳摇 缘缘园园园园冤 渊圆园员园年苑月圆员 日收到曰圆园员园年愿月圆远 日收到修改稿冤 摇 摇 利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米光栅的沉积是一种新型的研制纳米结构方法袁处于激光驻波场 中的原子运动速度特性对最终纳米光栅的沉积特性有着重要的影响援利用半经典理论袁基于源 阶砸怎灶早藻鄄运怎贼贼葬算法 进行了不同铬原子纵向和横向运动速度条件下纳米光栅结构沉积的仿真研究援研究表明袁铬原子纵向速度为最大 概率速度怨远园皂辕泽时袁所形成的纳米光栅的半高宽为员郾源怨灶皂袁对比度为远圆郾员颐员袁当铬原子的纵向速度为半最大概 率速度源愿园皂辕泽时袁纳米光栅的半高宽为缘郾猿缘灶皂袁对比度下降为圆缘郾远颐员援 同时袁对原子的横向速度影响沉积特性的 研究表明袁当原子的横向运动速度为园郾圆缘皂辕泽时袁纳米光栅结构的半高宽为源郾员愿灶皂袁条纹对比度为圆园郾怨颐员袁当原 子的横向运动速度为园郾缘园皂辕泽时袁纳米光栅结构的半高宽变为缘愿郾源灶皂袁条纹对比度减小为愿郾怨颐员袁沉积条纹质量 下降援 关键词院原子光刻袁纳米计量袁激光驻波场袁纳米光栅结构 孕粤悦杂院猿圆郾愿园郾责躁袁源圆郾缘园郾宰噪 纳米光栅的基本特性袁故而研究中性原子在激光驻 员郾 引 言 波场中的运动特性和运动轨迹具有非常重要的意 义援本文基于半经典理论为基础袁利用源 阶砸怎灶早藻鄄 沉积型纳米光栅制作的基本原理是利用特定 运怎贼贼葬算法对不同纵向速度和横向速度条件下中性 空间分布激光驻波场的辐射压力控制原子运动袁使 铬原子在激光驻波场中的运动轨迹和沉积特性进 原子束的密度产生相应的空间分布袁而后直接沉积 行了仿真研究袁并对沉积结果进行了分析和对比援 在基板上袁从而形成纳米光栅结构援经过预先准直 的原子束穿过与之正交的大失谐激光驻波场时袁由 圆援模型分析 于激光驻波场在空间的光强分布不均匀而使中性 原子受到非均匀的偶极力作用袁向驻波波峰或驻波 高斯激光驻波场的光强分布可以表示为咱远暂 波谷汇聚袁形成野原子束的沟道化冶现象援在该现象 渊原圆扎 辕棕 冤圆 圆 圆 陨渊曾袁扎冤 越陨 藻 园 泽蚤灶 渊噪曾冤袁 渊员冤 中袁原子束密度产生了以光波长的一半为周期的结 皂葬曾 其中袁陨 为高斯光束中心光强袁棕 为高斯激光束 构援如果是沉积在基板上袁就会形成具有相同周期 皂葬曾 园 的条纹援员维条件下形成的是光栅袁圆维驻波场作用 腰尺寸援 咱员要源暂 则高斯激光驻波场的稳态偶极势为 下则沉积出点阵结构 援 中性原子在激光驻波场的作用下将会按照特 哉渊曾袁扎冤 越 攸驻圆 造灶[员 垣 陨渊曾袁扎冤辕陨杂 圆 ]袁 渊圆冤